판매용 중고 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT RPM 2000 #9219508
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판매
ID: 9219508
빈티지: 2007
PL Mapping system
A-532nm Laser (Port A):
Laser type: JDS UNIPHASE 532 nm DSPP
Output wavelength (nm): 532 nm
Head and PSU / Controller
Spot size on RPM entry slit: 1.3
Output power:
Direct from laser: 55.2 mW
Sample: 41.8 mw
Power stability: <1% Over 2 hours
2007 vintage.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT RPM 2000은 반도체 산업을 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 마스크 및 웨이퍼 서피스 패턴 (wafer surface pattern) 기능을 빠르고 정확하게 측정하여 프로세스 기능과 제품 품질을 향상시킵니다. 고속, 우수한 옵틱, 긴 탐지 범위를 갖춘 ACCENT RPM 2000은 다양한 자동 검사 작업에 적합합니다. BIO-RAD RPM 2000은 공백 광 장치를 기반으로하는 3 축 비 접촉 정밀 이미징 및 정렬 시스템입니다. 이 기계에는 최대 10 나노미터의 픽셀 해상도로 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 (mask) 표면 패턴 이미지를 얻는 데 사용되는 고해상도 CCD 카메라가 장착되어 있습니다. 이미지를 수집하는 동안 도구는 이미지의 참조 패턴을 캡처하여 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 를 정확하게 정렬합니다. 또한 RPM 2000에는 이미지 처리 기능이 내장되어 있어 스크래치, 입자, 오염 물질, 모서리 착용과 같은 미묘한 결함 패턴을 신속하게 감지할 수 있습니다. 자산의 고급 광학 및 인코딩 시스템을 사용하면 이중 파장 및 다중 반사 데이터 (multi-reflection data) 를 측정하여 높은 정확도를 측정할 수 있습니다. 또한 NANOMETRICS RPM 2000은 노칭, 슬릿, 브리지 및 피치를 포함한 다양한 마이크로 기능을 보다 뛰어난 반복성과 정확도로 정확하게 측정 할 수 있습니다. NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT RPM 2000의 자동 작동은 검사 비용을 최소화하여 높은 품질의 결과를 제공하기 위해 운영자 노력을 줄여 효율성을 높여줍니다. ACCENT RPM 2000 (ACCENT RPM 2000) 은 수집된 데이터를 위한 다양한 출력 형식을 제공하여 기존 데이터 관리 환경에 모델을 쉽게 통합할 수 있습니다. 이 장비의 강력한 소프트웨어 패키지를 사용하면 데이터 수집 (Data Collection) 에서 데이터 처리 및 분석 (Data Processing and Analysis) 에 이르는 전체 검사 프로세스를 빠르고 효율적으로 수행할 수 있습니다. BIO-RAD RPM 2000 (BIO-RAD RPM 2000) 은 다양한 기판 및 재료에 대한 마이크로 기능 및 결함에 대한 정확하고, 안정적이며, 빠른 분석을 제공하는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. RPM 2000 은 사용이 간편한 인터페이스 (interface) 와 자동 작업 (automated operation) 을 통해, 사용자가 훨씬 높은 수준의 프로세스 기능과 품질 제어를 실현할 수 있도록 빠르고 정확하게 데이터를 제공할 수 있습니다.
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