판매용 중고 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT Quaestor Q8 #9229790
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 9229790
웨이퍼 크기: 8"
System, 8"
Control unit
Fully robotic with random access
Pick and place
(2) Cassette user programmable wafer handlers
X / Y Stage controlled:
Toothed belts to frictionless ball screws & linear roller bearings
PEEK FPAS Pre-aligner:
Non-edge contact
Flat and notch detection
Z-Stage movement: Linear direct drive DC torque motor
Interfacing hardware upgrade with AGV
Wafer cassette audit capability
JFDI Optics module
DC Servo motor alignment
Motorized pinhole
Xe Arc lamp illumination
FPAS Linear arm
Transfer arm
Stage top plate
26 Slot flipper upgraded kit.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT Quaestor Q8은 사진 해설에 사용되는 에칭 된 마스크와 웨이퍼를 검사하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 마스크와 웨이퍼의 고배율 이미징이 가능한 8 인치 웨이퍼 크기 지원 챔버로 제작되었습니다. 하나의 챔버에 2 개의 완전한 시스템 (Fab 2) 을 허용하는 듀얼 유닛 디자인 (dual unit design) 이 있으며, 패브 2 (Fab 2) 는 왜곡을 줄이고 최고 해상도의 고품질 이미지를 만들고 사용 가능한 최고의 명암을 제공합니다. ACCENT Quaestor Q8의 광학은 왜곡없이 모든 유형의 마스크 또는 웨이퍼 (wafer) 에서 크기, 모양, 재료 및 방향에 대한 기능의 이미징 및 검출성을 최대화하도록 최적화되었습니다. 대형 웨이퍼 (over-size wafer) 또는 매우 복잡한 형상을 검사할 수있는 무제한 동작이 가능한 5 축 하이브리드 변환/회전 단계가 제공됩니다. 이 기계에는 LED 및 할로겐을 포함한 다양한 광원이있는 넓은 지역의 이미지를 캡처하는 한 쌍의 달사 4 메가 픽셀 (Dalsa 4 megapixel) 흑백 카메라가 장착되어 있습니다. 이 카메라는 또한 사용자가 감지하는 모든 이상을 측정, 문서화, 보고할 수 있는 기능이 풍부한 소프트웨어 (feature-rich software) 를 지원합니다. BIO-RAD Quaestor Q8에는 지정된 마스크 또는 웨이퍼 분석의 성능과 정확성을 극대화하는 정교한 하드웨어/소프트웨어 도구가 있습니다. 자동 이미지 획득, 제품 정렬, 결함 식별 및 분류를 가능하게 하도록 설계되었습니다. 강력한 알고리즘을 통해 누락/추가 피쳐 수, 결함 분석 축소, 거짓 양성 (false positive) 감소 등 데이터를 분할, 비교, 분석할 수 있습니다. 이 에셋에는 패턴 매칭 (pattern matching) 기능도 있으며, 다른 마스크나 웨이퍼 간의 패턴을 즉시 감지하고 비교할 수 있으며, 횡단면 (cross-section) 을 통해 이미지를 보다 효율적으로 분석할 수 있습니다. 전반적으로 NANOMETRICS Quaestor Q8은 마스크 및 웨이퍼 분석을위한 포괄적 인 검사 모델을 제공합니다. 고급 옵틱 (Optic) 은 최고 품질의 이미징 (Imaging) 을 보장할 수 있도록 설계되었으며, 정교한 하드웨어 및 소프트웨어 장비는 높은 수준의 자동화 및 정확성을 보장합니다. 이러한 기능을 사용하면 모든 유형의 마스크 또는 웨이퍼 (wafer) 에 대한 이상을 빠르고 쉽게 감지하고 분류할 수 있습니다.
아직 리뷰가 없습니다