판매용 중고 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT Quaestor Q8 #9115816

ID: 9115816
Wafer inspection systems.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT Quaestor Q8 장비는 프로세스 품질 및 제어 향상을 위해 다양한 크기의 웨이퍼 결함을 감지하고 식별하도록 설계된 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 이 장치는 자율 XYZ 스테이지 플랫폼, 맞춤형 광학 기계, 대형 포맷 플랫 미러 및 이미지 센서로 구성됩니다. 모든 구성 요소가 통합되어 있어 마스크 및 웨이퍼를 자동으로 스캐닝하고 검사할 수 있습니다. XYZ 스테이지 플랫폼은 정확하고 반복 가능한 동작이 가능하므로 사용 편의성과 반복 가능한 설정이 가능합니다. 또한 자동 포커싱 (Automatic Focusing) 및 전면 등록 (Front Side Registration) 과 같은 기능이 포함되어 검진을 위해 표본의 정확한 위치를 지정할 수 있습니다. 사용자 정의 광학 도구 (Optics Tool) 는 결함 감지를 위해 가장 높은 수준의 이미지 선명도 (Sharpness) 와 민감도 (Sensitivity) 를 제공하는 한편, 필요한 표본 크기와 뷰 필드 매개변수를 유지하도록 설계되었습니다. 광학 자산의 광학 기계 설계 (optomechanical design) 는 포커싱 매개변수, 등록 정확도 및 뷰 (field of view) 크기 측면에서 유연성을 제공합니다. 대형 미러 (mirror) 와 이미지 센서가 통합되어 웨이퍼 결함을 스캔 및 검사할 수 있습니다. 거울은 시편표면에서 반사된 빛의 최대 양을 확보하고 결함 민감도 (defect sensitivity) 를 최대화하기 위해 자연적으로 반사되도록 설계되었습니다. 이미지 센서는 소음 및 흐림 (blur) 이 최소화되어 고해상도 이미지를 제공하도록 최적화되었습니다. 또한 자동 노출 제어 (Automatic Exposure Control) 기능을 통해 이미지 품질이 향상되고 시간이 지남에 따라 정확도가 높아집니다. 이 모델은 모듈식 (modular) 설계로 제작되었으며, 시간이 지남에 따라 새로운 기능과 컴포넌트를 추가할 수 있습니다. 이 모듈식 설계를 통해 새로운 검사 기준을 손쉽게 통합할 수 있으며, 장비의 확장성을 유지할 수 있습니다. 전반적으로 ACCENT Quaestor Q8 시스템은 비용 효율적이고 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사를 제공하며, 고급 기술과 최신 설계 방식을 구현합니다. 이것은 심각한 웨이퍼 결함 모니터링 및 프로세스 품질 제어에 이상적인 단위입니다.
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