판매용 중고 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT Quaestor Q7 #9112912
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ID: 9112912
웨이퍼 크기: 8"
Wafer inspection system, 8"
CMC Servo Motor: MT2115-014DF
KLK A-10
Xenon Lamp: X58000000, 110V, 50Hz
Control Station: Q7, 110VAC, 50/60Hz.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT Quaestor Q7은 반도체 마스크 및 웨이퍼 제조에서 비용 효율적인 프로세스 제어, 항복 관리 및 결함 감지를 위해 설계된 최고의 에지 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고급 광학 기술을 사용하여 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 의 결함을 감지하고 분석하며, 프로세스 엔지니어가 생산 및 생산에 지장을 줄 수있는 문제를 신속하게 식별하고 수정 할 수 있습니다. Q7 장치는 조명, 이미징, 광학 및 검출의 4 가지 하위 시스템으로 구성된 단일 광학 기계를 사용합니다. 이 도구는 엑사비트 (Exabits) 이상의 광학 해상도를 달성하기 위해 설계되었으며, 기존의 이미징 시스템보다 뛰어난 이점을 제공합니다. 광섬유 기반 조명 에셋은 마스크 또는 웨이퍼 (wafer) 의 전체 스캔을 통해 가벼운 균일성을 허용합니다. 이미징 서브시스템은 기존 광학 시스템의 흐림 (blur) 이나 왜곡 (distortion) 없이 HD 이미징 기능을 제공하며, 가장 작은 결함까지도 정확하게 캡처합니다. Q7 광학 모델은 선형 (linear) 으로 작동하거나 형상을 발산하여 정확한 결함 감지 및 측정을 위해 더 높은 정확도와 더 큰 시야를 제공합니다. 마지막으로, 검출 하위 시스템은 Architecture Mark-to-scape 감지 알고리즘을 사용하여 표면의 이상과 결함을 신속하게 감지합니다. Q7의 기능은 단순히 결함을 감지 할 수 없습니다. 간편한 테스트 및 데이터 분석을 위해, 이 장비에는 사용자 친화적인 GUI (Graphical User Interface) 가 포함되어 있어 시스템 설정을 제어 및 구성할 수 있으며, 미세한 불완전성 및 추세 분석 (Trend Analysis) 을 감지하는 데 사용할 수 있는 포괄적인 측정/분석 툴을 제공합니다. 또한 Q7 에는 AMS (Automated Measuration Unit) 가 장착되어 있어 프로세스 엔지니어가 높은 정확도로 대규모 데이터를 수집할 수 있는 기능을 제공합니다. 이 데이터는 제조 프로세스의 효율성 평가, 웨이퍼 추적, 운영 데이터 추세 확인 등에 사용될 수 있습니다. 이 데이터는 USB 또는 이더넷 (Ethernet) 을 통해 업로드할 수 있으므로 대용량 데이터를 손쉽게 저장, 분석할 수 있습니다. Q7 은 유지 보수 (Low Maintenance) 방식이며 작은 설치 공간에서 많은 양의 데이터를 제공하는 데 매우 적합합니다. 고급 광 미디어 (Optical) 기능은 4nm 이하의 노드를 생산하기 위해 성숙한 솔루션 (Solution) 과 개발 프로세스 (Development Process) 모두에 적합하므로 다운타임을 최소화하고 수율을 늘릴 수 있습니다.
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