판매용 중고 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT Q8 #9305629
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ID: 9305629
빈티지: 1997
Overlay metrology system
(2) Send and receive cassette elevators, 5"-8"
FPAS Pre-alignment system
XYZ Stage with wafer chuck, 8"
Stage fiducial
Objective lenses: 3.5x, 30x and 70x
(2) COHU 6700 Series CCD Cameras
XENON X-18 Lamp house
System controller with UNIX based operating system
VME Rack with FORCE ELECTRONICS SYS68K CPU-30BE/16 CPU
Digital tape backup
Floppy disk drive, 3 ½"
SECS / GEM Communication
CE Marked
1997 vintage.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT Q8은 결함을위한 포토 마스크 및 웨이퍼를 검사하고 부적합성을 처리하기 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 첨단 데이터 수집 (advanced data collection) 방법을 통해 강도로 코딩된 패턴 조명을 활용하는 최첨단 광학 이미징 기술을 기반으로 합니다. 혁신적인 알고리즘을 활용하여, ACCENT Q8 (ACCENT Q8) 은 포토 마스크 (photomask) 또는 웨이퍼 (wafer) 표면을 빠르게 스캔하고 맨눈으로 볼 수없는 작은 결함을 감지 할 수 있습니다. 즉, 제품 라인에서 벗어나는 모든 제품이 가장 높은 품질 (Quality Standard) 기준이 되어야 합니다. 이 단위는 또한 검사 된 재료의 글로벌 (global) 또는 로컬 서피스 특성을 측정 할 수 있습니다. 이 프로세스는 여러 가지 다른 기술을 사용하여 수행되며, 모두 함께 작동하여 작품에 대한 자세한 피드백 (feedback) 을 제공합니다. 여기에는 재료의 두께 또는 얇음, 모서리 각도, 텍스처 및 기타 서피스 특성을 결정하는 것이 포함됩니다. 이 시스템은 또한 다양한 맞춤형 데이터 출력 (customized data output) 옵션을 제공하여 다양한 관점에서 이미징 작업 결과를 분석할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 특정 프로세스 부적합 (process noncomformity) 을 처리할 때 취해야 할 최상의 작업 경로를 결정할 수 있습니다. BIO-RAD Q8은 이미징 및 측정 기능 외에도 마스크 및 웨이퍼 검사 (wafer inspection) 프로세스를 간소화하도록 설계되었습니다. 이 도구는 자산 자체에서 관리하는 전처리 (pre-processing) 및 후처리 (post-processing) 단계를 통해 완전히 자동화된 작업을 지원합니다. 따라서 이미지 처리 속도가 가능한 한 빠르고 효율적입니다. 전반적으로, NANOMETRICS Q8 마스크 및 웨이퍼 검사 모델은 프로세스 부적합성을 위해 포토 마스크 및 웨이퍼를 검사하는 프로세스에 혁명을 일으키도록 설계되었습니다. 이 첨단 이미징 기술은 제품 품질을 향상시키고, 생산 비용을 절감할 수 있는 강력한 도구를 제공합니다. 유연한 데이터 출력 옵션과 자동화된 운영 지원 (Automated Operation Support) 을 통해 효율성을 극대화할 수 있으며, 결함이 없는 부품이 운영 라인에서 눈에 띄지 않도록 할 수 있습니다. 8 사분기에, 사용자는 자신의 완성된 제품의 품질을 확신 할 수 있습니다.
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