판매용 중고 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT Q200i #9235490

NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT Q200i 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 제조 및 석판 촬영 후 프로세스 동안 모든 중요한 집적 회로 계층의 결함을 식별하도록 설계된 고급 이미징 시스템입니다. 이 장치는 고해상도 웨이퍼 스캐닝 스테이션 (Wafer Scanning Station), 특수 웨이퍼 정렬 장치 (Wafer Alignment Machine), 고품질 이미징 도구 및 종합적인 소프트웨어 환경으로 구성되어 있습니다. 웨이퍼 스캐닝 스테이션 (wafer scanning station) 은 직경이 최대 200mm인 최대 8 개의 웨이퍼를 스캔 할 수 있습니다. 즉, 빠른 속도와 정확도를 제공하는 동시에, 다양한 프로세스 조건에서 신뢰할 수 있는 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 또한, 스캐닝 스테이션에는 작은 결함의 우수한 검출을위한 고 동적 범위 스캔 헤드 (high-dynamic range scan head) 도 포함되어 있습니다. 웨이퍼 정렬 (wafer alignment) 에셋에는 대형과 소형 웨이퍼를 모두 등록할 수 있는 고정밀도, 자동 정렬 모델이 포함되어 있습니다. 이 장비는 서브 미크론 정렬 정확도 (sub-micron alignment accuracy) 를 통해 마스크 및 웨이퍼 검사 과정에서 고품질 결과를 얻을 수 있습니다. 이미징 시스템은 초소형 (microscopic) 패턴의 선명하고 높은 명암의 이미지를 제공하는 고해상도, 고속 카메라를 갖추고 있습니다. 이를 통해 집적 회로에서 가장 작은 결함조차도 감지 할 수 있습니다. 이 이미징 장치의 고속 (High Speed) 은 고해상도 이미지를 적시에 캡처할 수 있도록 합니다. ACCENT Q200i 머신의 소프트웨어 환경은 마스크, 웨이퍼 검사 및 분석을위한 포괄적인 도구 모음을 제공합니다. 결함 개선, 이미지 모자이크, 필터링, 에지 샤프닝 등 다양한 고급 이미지 처리 기능을 제공합니다. 또한, 광범위한 데이터 분석 및 보고 기능을 비롯하여 패턴 분석을 위한 마스크 계층 종속 프로세스 창 (mask-layer dependent process window) 기준을 생성할 수 있습니다. BIO-RAD Q200i 도구는 하드웨어와 소프트웨어 기술의 조합을 통해 마스크 및 웨이퍼 검사를 위한 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 즉, 프로세스 주기 (process cycle) 를 줄이고 수익률을 높일 수 있는 능률적인 검사 프로세스를 통해 최고 수준의 정확성과 신뢰성을 달성하도록 설계되었습니다. 마스크 및 웨이퍼 검사 기술 분야의 선두 주자로서, Q200i 자산은 모든 집적 회로 제작 및 석판화 후 (post-lithography) 프로세스에 완벽한 선택입니다.