판매용 중고 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT Q200i #9183432
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ID: 9183432
Overlay measurement system, 8"
Hardware configuration:
Main system:
Main body
PC Control console
SMIF System: (2) Indexers
Handler system:
Robot unit
Prealigner
CIM Linked
2000 vintage.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT Q200i는 고급적이고 안정적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 대용량 생산 라인을 위해 설계되었으며, 빠르고 정확한 결과를 제공합니다. 최대 400mm 웨이퍼 크기의 스캔 기능과 픽셀 레벨 (pixel-level) 에서 라인/공간 (line/space) 레이아웃까지 다양한 검사 옵션을 제공합니다. 기본 장치는 기본 센서 스테이지, 샘플 스테이지, 컴퓨터 및 주변 장치, 제어 소프트웨어로 구성됩니다. 주 센서 스테이지에는 뛰어난 6m 픽셀 크기를 제공하는 5MP CCD 카메라가 장착되어 있어 웨이퍼 (Wafer) 및 마스크 결함 (Mask Defect) 을 정확하게 등록 할 수 있습니다. 샘플 스테이지는 클로즈드 루프 모션 컨트롤 머신 (closed-loop motion control machine) 을 갖춘 동력 스테이지로 최대 350mm/초 스캔 속도와 400mm x 400mm의 X-Y 이동을 제공합니다. ACCENT Q200i 제어 소프트웨어는 자동 이미지 분석을 수행할 수 있는 카메라, 스테이지, 기타 하드웨어 구성요소의 성능을 활용합니다. 여러 지능형 알고리즘과 함께 작동하여 리소그래피 관련 결함 및 기타 복잡한 패턴을 신속하게 감지합니다. 또한, 다중 웨이퍼 검사를 수행할 수 있는 다이빙 (dicing) 및 스티칭 (stitching) 툴과 검사 결과를 표시하는 데이터 그래픽 사용자 인터페이스 (data graphical user interface) 도 갖추고 있습니다. 자산은 또한 여러 타사 패턴 인식 소프트웨어와 호환되며, 정확한 결과와 효율적인 검사 작업 흐름을 제공합니다. 또한 쉽게 설치할 수 있도록 설계되었으며, 작업하는 동안 최소한의 사용자 개입 (user intervention) 이 필요합니다. 또한 고급 자동 초점 모델, 원격 모니터링, 내장형 백그라운드 노이즈 취소 (옵션) 하드웨어는 최고의 정확성과 안정성을 보장하도록 설계되었습니다. 결론적으로, BIO-RAD Q200i는 대용량 생산 라인을 위한 강력하고, 효율적이며, 신뢰할 수있는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템에는 5MP CCD 카메라, 전동 샘플 스테이지, 다양한 구성 요소 및 지능형 알고리즘이 장착되어 있어 정확한 이미지 분석을 수행하고 복잡한 리소그래피 관련 결함을 감지합니다. 또한 손쉽게 설치할 수 있으며, 효율적인 검사 워크플로우를 위한 다양한 타사 (Third-Party) 패턴 인식 소프트웨어 옵션을 제공합니다.
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