판매용 중고 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT CALIPER Q300 #9294762

NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT CALIPER Q300은 고도의 종합적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 제품은 다양한 전자 장치 제조에 사용되는 중요한 석판화 마스크 (lithographic mask) 및 웨이퍼 (wafer) 부품을 정확하고, 자동화하며, 일관되게 검사합니다. 시스템은 LIT (Lens Inspection Table), LIT의 렌즈를 제어하는 스테퍼 유닛, Optics Station으로 구성됩니다. (OS) - 세 개의 별도 광학 시스템, 프로그래밍 가능한 정렬 모듈식 돋보기 (PAMM) 현미경, 고해상도 디지털 이미징 카메라가 장착된 Inspection Performance 스테이션, 로봇 암 (RA) 는 만드렐 로딩, 근접 감지 및 부품의 정밀 정렬에 최적화되었습니다. 라이트 (LIT) 는 전체 검사 주기 동안 플랫폼의 모든 광학 컴포넌트가 동일한 위치에 유지되도록 조정 가능하고 잠긴 공차 (adjustable and locked tolerance) 를 표면에 내장한 정밀 전송 테이블입니다. 이렇게 하면 "렌즈 '정렬" 매개변수' 의 차이 에 의하여 도입 된 왜곡 에 관계 없이 기계 가 균일 한 결과 를 얻을 수 있다. OS는 마스크 및 웨이퍼 구성 요소의 광 전송을 담당합니다. 공간 및 전력 효율이 높은 광학 설계로 구성되어 있어 다양한 배율을 통해 최대의 해상도를 제공합니다 (영문). 여기에는 3 개의 개별 광학 시스템, PAMM 및 검사 성능 스테이션이 포함되어 있으므로 동시 검사 및 더 정확한 포인트 측정이 가능합니다. PAMM은 고급 감지 및 이미지 분석 기능을 갖춘 현미경입니다. 자동 피쳐 추출 알고리즘은 마스크 및 웨이퍼 피쳐 (예: 선 너비, 피치, 또는 측정해야 할 기타 임계 치수) 를 식별하고 분석합니다. 검사 퍼포먼스 (Inspection Performance) 스테이션은 고해상도 디지털 이미징 카메라를 사용하여 검사 프로세스 중 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 컴포넌트의 이미지를 캡처하고 저장합니다. 카메라는 마스크와 웨이퍼 (wafer) 표면에 걸쳐 정확한 균일성을 보장하며 균일성 (unifority) 측정이 빠르고 정확하게 이루어질 수 있습니다. RA (Intelligent Robotic Arm) 는 가능한 가장 정확한 측정을 위해 웨이퍼 및 마스크 컴포넌트를 로드하고 자동으로 배치하는 데 사용되는 지능형 로봇 암입니다. 또한 이 도구를 사용하여 한 단계로 웨이퍼 (wafer) 를 처리하여 프로세스 속도와 효율성을 높일 수 있습니다. ACCENT CALIPER Q300은 마스크 및 웨이퍼 검사와 관련하여 고급적이고 효과적인 도구입니다. PAMM 현미경, 고해상도 디지털 카메라, 로봇 암 (Robotic Arm) 과 결합 된 정확한 광학 시스템은 전자 기기 제조에 사용되는 가장 복잡한 부품에 대한 일관된 검사 결과를 제공합니다.