판매용 중고 NANOMETRICS AFT 4000 #85006
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ID: 85006
Film thickness and reflectivity system
Standard film types measured
Single layer films: Visible 500-50,000A; UV 25-500A
Double layer films: Visible Top Layer 100-30,000A; Bottom Layer 100-10,000A
Single layer thick films: Visible 4-75 microns
Reflectance: Visible 400-850nm
Oxide on poly: UV 150-10,000A
Oxide on metal: Visable 3,000-20,000A; UV 500-5,000 A.
NANOMETRICS AFT 4000은 위험한 화학 물질 및 후처리에 웨이퍼를 노출시키기 전에 결함이있는 마스크 구조 (Mask Structure) 및 웨이퍼 결함 (Wafer Defects) 을 정확하고 빠르게 평가하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템을 사용하면 마스크 또는 웨이퍼에 결함이 있는지 신속하게 검사하고, 추가 조사를 위해 정보를 보고할 수 있습니다. AFT 4000 은 유전체 (dielectric) 의 가장 작은 결함까지도 감지하고 측정하는 데 있어 탁월한 성능과 높은 수준의 정확도를 제공합니다. 이 장치는 빠르고 고해상도 이미징 기능을 제공하는 Quadra-Tech 이미징 기술을 갖추고 있습니다. 이를 통해 NANOMETRICS AFT 4000은 검사되는 마스크 또는 웨이퍼에서 마스크 패턴, 레이어 및 3D 피쳐의 우수한 이미지를 생성할 수 있습니다. 이 기계에는 2 ~ 6 개의 람다 (Lambda) 간격을 가진 유전체와 구조물의 미세한 구조를 감지 할 수있는 독특한 Coupled-Etch Feature Analysis 도구가 장착되어 있습니다. 또한, 이 도구는 FTIR 분광법 (FTIR spectroscopy) 과 같은 고급 분석 도구를 제공하여 사용자가 결함의 정확한 물리적, 화학적 특성을 측정 할 수 있습니다. 또한 AFT 4000 에는 진단 기능 분석 도구 (Diagnostic Feature Analysis Tool) (옵션) 가 장착되어 있어 편차의 심각도를 정확하게 정량화할 수 있습니다. 이 도구 (This Tool) 는 사용자가 결함이 결과적인 제품의 품질에 영향을 미치는지, 아니면 포스트 프로세싱에서 안전하게 고정 (false positive) 할 수 있는지 여부를 결정할 수 있도록 도와줍니다. 나노 메트릭 AFT 4000 (NANOMETRICS AFT 4000) 은 매우 진보된 마스크 및 웨이퍼 검사 자산으로, 사용자가 평가 결함과 관련하여 최고 수준의 정확성과 속도를 제공하도록 설계되었습니다. 고급 이미징 (Advanced Imaging) 및 분석 (Analysis) 기능을 통해 유전체 중 가장 작은 결함까지도 쉽게 감지하고 측정할 수 있으며, 진단 기능 분석 도구 (Diagnostic Feature Analysis Tool) 옵션을 사용하면 포스트 프로세싱에 투입하기 전에 결함을 정확하게 파악하고 분석할 수 있습니다.
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