판매용 중고 NANOMETRICS 9010 #9213384

ID: 9213384
빈티지: 2004
Thickness measurement system 2004 vintage.
나노 메트릭 (NANOMETRICS) 9010은 오늘날 점점 더 복잡한 반도체 제조 및 연구 프로세스에서 결함을 신속하게 자동 인식하도록 설계된 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 자동화된 소프트웨어 알고리즘을 갖춘 자동 웨이퍼 검사 장치 (automated wafer inspection unit) 를 사용하여 운영 웨이퍼를 빠르고 정확하게 스캔 및 분석합니다. 9010은 스크래치, 스루 홀, 오염 물질, 인쇄 결함, 사이클 시간 개선, 칩 수율, 프로세스 제어 등의 다양한 결함 및 이상을 인식 할 수 있습니다. 이 시스템은 데이터 획득 속도, 정확성 측면에서 매우 효율적이며, 사용자에게 친숙한 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 와 다양한 자동화 툴 (Automation Tool) 을 갖추고 있습니다. 가장 까다로운 검사 요구 사항을 충족하고, 고급 이미지 처리 기능과 생산적인 스캐닝 (scanning) 기술을 결합하도록 설계되었습니다. 이 도구는 병렬 구성으로 배열 된 일련의 디지털 카메라와 센서로 구성됩니다. 카메라는 고해상도 광학 필터에 연결되어 1um 이상의 정확도로 적외선, 자외선, 전자 방출과 같은 보이지 않는 매개변수를 캡처합니다. 검사 과정에서 에셋은 각 웨이퍼 이미지를 여러 위치와 각도로 캡처한 다음, 표준 데이터 (inbilt standard data) 와 비교합니다. 나노 메트릭 (NANOMETRICS) 9010은 또한 매우 희미한 결함을 감지 할 수있는 고급 패턴 인식 기술을 갖추고 있습니다. 따라서 수동 감독 (manual supervision) 이 필요 없으며, 추가 운영 단계를 시작하기 전에 오류가 제거됩니다. 그 결과, 발견된 모든 결함이 빠르고 효율적으로 포착되고 해결되어, 수익률을 최적화하고, 시간과 자원을 절약할 수 있습니다. 결론적으로, 9010 마스크 및 웨이퍼 검사 모델은 사용자 친화적 인 인터페이스와 강력한 이미징 기능을 제공하여, 칩 수율 향상 및 비용 절감을 위해 결함 감지를 자동화합니다.
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