판매용 중고 NANOMETRICS 4150 #9124007
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ID: 9124007
웨이퍼 크기: 6"-8"
빈티지: 1994
Reflectivity & mapping system, 6"-8"
Film thickness
Single and multiple layer measurement programs
Ability to select film constants
Scan ranges and substrate types
High speed auto-focus torret style objectives head
MSPlan 5
MSPlan 10
MSPlan 50
Reflecting objective x15
Programmable mapping stage: Accuracy +/- 2 mm data analysis
Motorized stage
Stage accuracy: 2mm High resolution contour
3D Mapping
Pulnix TMC-7 camera rapid measurement program development extensive data management SPC capabilities
Mapping: Contour 2D & 3D
115VAC, 5A,50/60Hz
1994 vintage.
NANOMETRICS 4150은 반도체 산업에서 널리 사용되는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. "마스크 '와" 웨이퍼' 가 중요 한 관용 을 충족 시키고 결함 이 없도록 하는 데 도움 이 된다. 이 시스템은 정적 이미징과 동적 이미징의 두 가지 검사 기능을 제공합니다. 정적 이미징은 내장 충전, 공백, 디라미네이션, 다양한 오염 물질과 같은 심각한 결함을 식별하는 데 사용됩니다. 그것 은 "마스크 '나" 웨이퍼' 의 표면 에서 반사 된 빛 을 탐지 함 으로써 그렇게 한다. 동적 영상 (Dynamic Imaging) 은 필름 또는 기판의 입자 (particle) 나 이물질 (foreign material) 과 같은 정적 영상에 보이지 않을 수있는 미세한 결함을 식별하는 데 사용됩니다. 이 장치에는 검사의 정확성을 보장하기 위해 일련의 고급 (advanced) 기능이 장착되어 있습니다. 예를 들어, 서보 드라이브 (servodrives) 가 있는 고속 X-Y 단계를 사용하여 카메라를 가로 질러 샘플을 이동하여 빠르고 정확한 위치를 지정합니다. 서브 마이크론 스텝 프로파일 측정 (Sub Micron Step Profile Measurement) 옵션은 0.1-100 m의 범위 내에서 샘플 표면의 곡률을 감지하도록 설계되었습니다. 또한, 나노메트릭 패턴 일치 도구 (Nanometric Pattern Match Tool) 는 두 마스크 사이의 나노 스케일 차이를 측정하거나 웨이퍼의 다른 두 레이어 사이에서 측정하는 데 사용됩니다. 기계에 사용 된 광학은 매우 민감하고 매우 정확하며, 0.5-2 (m) 사이의 기능을 감지 할 수 있습니다. 후면 이미징 (backside imaging) 옵션을 사용하여 외부 레이어 구조를 검사할 수 있고 특수 검출기 (special detector) 설정을 통해 신호 대 잡음비를 최적화할 수 있습니다. 이 도구의 사용자 인터페이스 (user interface) 는 간단하고 직관적인 작업을 통해 신속하게 검사할 수 있도록 설계되었습니다. 실시간 멀티 윈도우 (Multi-Window) 및 스플릿 윈도우 (Split-Window) 기술을 통해 여러 샘플을 동시에 검사할 수 있으며, 3D 사용자 인터페이스를 사용하면 결함을 더 잘 분류할 수 있습니다. 전반적으로, 4150 자산은 마스크와 웨이퍼에서 정확하고 효율적인 결함 검사를 위해 고급 기능을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 제품 무결성을 보장하고 폐기물을 줄일 수 있으며, 결국 비용을 절감할 수 있습니다.
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