판매용 중고 NANOMETRICS 4000 #9284341
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나노 메트릭 (NANOMETRICS) 4000은 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 감지되지 않는 결함에 대한 고급, 고성능 감지 및 분석을 제공합니다. 첨단 광학 시스템 (Advanced Optical System) 이 장착되어 있어 해상도가 높지 않고도 미세한 결함을 감지할 수 있습니다. 4000은 마스크, 포토 마스크, 리소그래피 레티클 및 웨이퍼를 매우 정확하고 정밀하게 감지합니다. 이 장치는 AOI (Advanced Widefield Automated Optical Inspection) 기계를 기반으로 하여 더 넓은 영역에서 더 적은 자원을 사용하여 다른 표면에서 더 많은 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 도구는 철저한 검사 범위를 자동으로 입증하는 한편, 향상된 스크리닝 (screening) 방법을 사용자에게 제공합니다. 선형 (linear), 이중 영역 (dual-zone) 기술은 표면의 매끄러운 맵을 제공하여 가장 어려운 표면에서도 결함을 감지 할 수 있습니다. NANOMETRICS 4000은 반도체 장치 제조 환경에서 사용하도록 최적화되어 정확한 표면 측정, 신뢰할 수있는 결함 감지, 추적 가능한 생산 데이터 등을 제공합니다. 스크래치, 작은 입자, 짧은 결함, 라미네이트 결함, 외국 재료, 구덩이, 불균일 한 에치 피트, 공백 등 다양한 결함을 인식 할 수 있습니다. 또한 수분 및 오염 물질을 감지하여 종합적인 분석 및 궁극적 인 탐지 정확성을 제공합니다. 이 자산은 직관적인 사용자 환경과 높은 생산성을 고려하여 설계되었습니다. 검사를 진행하기 전에 샘플이나 제품에 대한 개요를 제공하는 빠른 참조 도구 (Quick Reference tool) 와 참조할 필요 없이 알려진 결함을 빠르게 찾을 수 있는 참조 이미지 검색 도구 (Referenceless Image Search tool) 와 같은 다양한 기능을 제공합니다. 4000 은 대용량 생산을 위해 설계되었으며, 자동화 프로세스 레시피 (recipe), 자동 결과 수집 (automated results collection), 배치 프로세스 스케줄링 (batch process scheduling), 무중단 프로세스 제어 (continuous process control) 등의 다양한 자동화 기능이 장착되어 있습니다. 또한 실시간 모니터링 기능을 제공하여 제조업체가 중요한 운영 수율을 추적하고 처리량을 최적화할 수 있습니다 (영문). 또한, 고해상도 (High Resolution) 와 고급 광학 (Advanced Optic) 을 통해 높은 정확도와 결과를 얻을 수 있습니다. 궁극적으로, NANOMETRICS 4000은 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 강력하고 신뢰할 수있는 도구이며, 제조업체는 고품질 구성 요소에 대한 요구가 계속 증가하고 있습니다. 직관적인 사용자 환경, 포괄적인 결함 감지 기능, 자동 (automated) 기능을 통해 대용량 운영 및 신뢰성, 추적 가능한 결과를 얻을 수 있습니다.
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