판매용 중고 NANOMETRICS 3000 #9079621

NANOMETRICS 3000
ID: 9079621
System.
나노메트릭 3000 (NANOMETRICS 3000) 은 반도체 마스크와 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 의 가장 작은 기능을 검사하여 결함과 정확성을 검사하도록 설계된 고정밀 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템에는 강력한 광학 장치 (optics) 와 0.25 미크론 크기의 작은 기능을 확인할 수있는 이미징 장치 (Imaging Unit) 가 장착되어 있습니다. 3000 은 "웨이퍼 '와" 마스크' 의 표면 에 있는 미세 한 특징 들 의 모양, 크기, 위치 에 있는 결함 과 불규칙성 을 탐지 하여, 최고 의 질 의 제품 을 보장 할 수 있다. 이 기계는 4 가지 주요 구성 요소 (광학 헤드, 주 컨트롤러, 샘플 스캐너 및 분석 소프트웨어) 로 구성됩니다. 광학 헤드는 샘플의 이미지를 캡처하도록 설계되었으며 고해상도 CCD 카메라 (CCD Camera), 고해상도 줌 (Zoom) 광학, 고급 조명원으로 구성되어 있습니다. 메인 컨트롤러 (Main Controller) 는 전체 공구의 작업을 조정하고 제어하는 역할을 맡고 있으며, 샘플 스캐너 (Sample Scanner) 는 샘플의 전체 표면을 분석하기 위해 현미경 헤드를 이동하도록 설계되었습니다. 마지막으로 분석 소프트웨어 (analysis software) 는 획득한 이미지를 분석하는 중요한 작업을 수행하여 샘플에 있는 피쳐의 크기, 형태, 위치를 측정합니다. 또한 NANOMETRICS 3000 에셋은 검사 중인 피쳐의 크기에 관계없이 광학 모델의 초점 평면 (focus plane) 이 전체 검사 프로세스 전체에서 일정하게 유지되도록 고급 자동 초점 기능 (autofocus capability) 으로 설계되었습니다. 이 자체 조정 (self-adjusting) 기능은 높은 정밀도를 유지하면서 복잡한 서피스를 검사하는 데 필요한 시간을 크게 줄입니다. 정확도와 해상도를 높이기 위해 광학 간섭법 (optical interferometry) 및 기타 고급 도량형 기법과 함께 3000 을 사용할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 전례없는 정밀도로 샘플의 3 차원 미세 기능 모양을 측정 할 수 있습니다. 나노메트릭 (NANOMETRICS) 3000 은 안정적이고 강력한 검사 툴로, 정확성과 반복성이 모두 안정적이며, 생산 규모 마스크 및 웨이퍼 검사에 적합합니다. 고정밀도 옵틱 (optic), 고급 이미지 획득 및 분석 기능, 자동 초점 기능 등을 통해 품질 관리 (quality control) 를 보장하고자 하는 제조업체에 이상적인 장비가 됩니다.
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