판매용 중고 NANOMETRICS 210 #9123978
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ID: 9123978
웨이퍼 크기: 1-6"
Thin film thickness measurement systems, 3"-6"
Includes:
Photoresists
Polyimides
Polysilicon
Oxides
Nitrides
Ranges: 100A to 500kA
Measurement time: 2.5 seconds.
나노 메트릭 (NANOMETRICS) 210은 반도체 제조 및 검사에 이상적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 최첨단 스펙트럼 이미징 스캐닝 알고리즘을 사용하여 빠르고 정확한 검사 결과를 제공합니다. 이 장치는 두 개의 독립적 인 검사 모드 (고해상도 모드) 와 높은 동적 범위 모드 (High Dynamic Range Mode) 를 제공하여 다양한 기판을 세밀하고 선명하게 검사할 수 있습니다. 210 기계에는 오브젝티브 렌즈, 라이트 실드, 조명원과 같은 고급 광학 구성 요소로 구성된 고급 광학 도구가 포함되어 있습니다. 이 광학 자산은 0.5äm의 뛰어난 해상도를 가지고 있으므로 정확하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 이 모델의 광 장비는 슬릿 스캐닝 (slit-scanning) 및 필드 스캐닝 (field-scanning) 을 사용하여 고속 심층적 데이터 수집을 수행합니다. 또한 NANOMETRICS 210 시스템은 혁신적인 단색 바이몰라 체인 이미징 알고리즘을 통합합니다. 이 알고리즘을 사용하면 단위가 투명, 금속, 회색 배율 (grey scale) 을 포함하여 광범위한 기판의 패턴과 치수에서 결함을 감지 할 수 있습니다. 광학 머신과 이미징 알고리즘의 조합은 정확하고 빠른 이미지 처리를 보장합니다. 이 조합을 통해 도구는 10µm 이상의 범위와 뛰어난 동적 범위 (dynamic range) 로 고해상도 이미지를 생성할 수 있습니다. 또한, 이 자산에는 분석 및 결함 검사가 가능한 모듈식 소프트웨어 (Modular Software Suite) 가 장착되어 있습니다. 이 소프트웨어에는 마스크 검사, 결함 분류, 결함 수준 측정 및 검토, 결함 선택, 현지화 및 측정 기능, 허위 경보 속도 (false-alarm rate) 가 낮습니다. 210은 반도체 생산의 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 모델은 빠른 처리량, 고해상도, 정확도, 낮은 경고 속도, 소프트웨어 내에서 구현된 다양한 분석 기술을 제공합니다. 이들 부품은 검사 할 수있는 다양한 기판 및 결함 유형과 함께 빠르고, 정확하고, 고수율 (high-yield) 의 반도체 생산을 가능하게 합니다.
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