판매용 중고 MKS GLM-2000 #9073496

MKS GLM-2000
ID: 9073496
Minority Carrier Lifetime Monitor Measurements: Gtau (lifetime) Photoconductance Rise (PCR) Photoconductance Decay (PCD) Sheet Resistance Gtau Lifetime Measurement Range: 0.2-15,000 microsecond (µsec) equivalence PCR and PCD Measurement Range: 5-15,000 µsec Sheet Resistance Range: 1 5-1000 Ohm o Within Specification Temperature: 18º - 28°C ambient Substrate Size: 2”, 3”, 4”, 6” diameter, 156 x 156 mm LED Light Source2: Near Infrared (940 nm) or Green (527 nm) Sensor Measurement Area: 940mm2, spatially averaged illumination Substrate Thickness: <1.1 mm (<2.0 mm with tray removed) Power: 110-240 VAC, 50/60 Hz.
MKS GLM-2000은 제조 결함을 감지하도록 설계된 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 검사 시스템은 photomask, 평면 패널 디스플레이 및 MEMS 장치에 대한 자동 결함 검사를 제공합니다. 검사 장치에는 고해상도 광학 기계 (high resolution optical machine), 고급 조명 기술 (advanced lumination technique) 및 가장 미묘한 표면 불규칙성까지 감지 할 수있는 독특한 시청 도구가 장착되어 있습니다. GLM-2000은 유전체 측정, 중요 치수 검사, 글로벌 정렬, 설계 규칙/마스크 규칙 확인 등 다양한 검사 응용 프로그램을 지원하도록 설계되었습니다. MKS GLM-2000 (MKS GLM-2000) 에는 고급 보기 (Advanced View) 기술이 적용되어 있어 자산이 패턴의 모호한 기능에 빠르게 액세스하거나 고대비 (High Contrast) 또는 해상도의 결함을 감지할 수 있습니다. 글름-2000 (GLM-2000) 에 사용된 스캐닝 단계는 고속 이동과 높은 정확도 포지셔닝이 가능하므로 정확하고 안정적인 결함 검사를 수행할 수 있습니다. 이 모델은 다중 초점, 3D 쌍극자, 다중 각도 광원 반사와 같은 다양한 감지 기술을 제공합니다. 이 장비는 또한 고급 에지 감지 (Advanced Edge Detection), 피쳐 측정 및 이미지 비교를 위한 강력한 이미지 처리 알고리즘을 갖추고 있습니다. MKS GLM-2000은 단일 주기로 최대 10 개의 마스크와 웨이퍼를 검사 할 수 있습니다. 이 시스템은 구성 능력이 뛰어나며 다양한 제조 공정 (Manufacturing Process) 요구 사항에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 글름-2000 (GLM-2000) 은 대량 생산 및 대용량 검사가 필요한 제조업체의 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 장치의 오작동 속도는 낮아 기계가 항상 안정적이고 정확한지 확인합니다 (영문). MKS GLM-2000은 사용자 친화적이고 효율적인 검사 도구입니다. 직관적인 사용자 인터페이스와 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 작업을 간편하게 수행할 수 있습니다. 검사 자산은 CD-SEMI, J-STD 및 IEC-60950을 포함한 다양한 산업 표준을 준수합니다. 이 모델은 제조, 이미징, 도량형 (metrology) 등 다양한 업계에서 효율적이고 안정적인 결함 감지를 제공하도록 설계되었습니다. GLM-2000은 비용 효율적인 검사 장비로, 탁월한 정확성과 처리량을 제공합니다.
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