판매용 중고 MIT Linearflex 822 #9234972

MIT Linearflex 822는 집적 회로 (IC) 에 대한 자동화된 비파괴 평가를 제공하기 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 SEM (Optical and Scanning Electron Microscope) 과 검사 프로세스를 자동화하는 고급 소프트웨어 도구로 구성됩니다. 광학 장치에는 하단 조명 오브젝티브 렌즈 (bottom-illumination objective lens) 가 포함되어 웨이퍼 표면의 선명한 실시간 이미지 캡처가 제공됩니다. SEM (Scanning Electron Microscopy) 을 사용하면 Sub-micron 기능을 매우 높은 수준의 디테일로 이미징 할 수 있습니다. 고해상도 이미지는 위상 배열 이미징 (phased-array imaging) 으로 여러 채널에서 캡처할 수 있으며, 이를 통해 IC의 서피스 및 서브어페이스 기능을 모두 검사할 수 있습니다. 또한 Linearflex 822 에는 IC 설계 및 제조 프로세스의 모든 단계에서 웨이퍼를 자동으로 검사할 수 있는 강력한 이미지 분석 기능이 포함되어 있습니다. 고급 이미지 처리 알고리즘은 입자 및 입자 클러스터, 결절, 구덩이, 스크래치 및 기타 오염을 포함하여 거시 및 미세 수준의 결함을 식별 할 수 있습니다. 또한, 이 기계에는 전체 범위의 석판 인쇄 오류를 포괄적으로 감지하기위한 웨이퍼 검사 도구 (wafer inspection tools) 가 포함되어 있습니다. 이 제품군은 step-and-scan (i-line stepper 또는 DUV scanner), double-patterning 및 photomask 처리를 포함한 다양한 업계 표준 석판화 프로세스와 호환됩니다. 이 소프트웨어는 또한 외국 물체를 감지하고 웨이퍼 필링 또는 워핑을 수행 할 수 있습니다. 자동 검사 소프트웨어는 이미지 캡처 시스템 (Image Capture System) 과 함께 IC 레이아웃과 프로세스에 대한 포괄적인 스크리닝 및 측정을 제공합니다. 프로세스 장애를 감지하고, 오염원을 찾고, 프로세스 성능을 최적화하는 데 사용할 수 있습니다. 통합된 툴 소프트웨어는 다운타임을 최소화하고 성능을 최적화하도록 설계되었습니다. 소프트웨어는 매우 확장 가능하며, 웨이퍼 테스트 및 복구 프로세스를 사용하도록 프로그래밍 할 수 있습니다. 하드웨어에서 고속 데이터 스트리밍을 통해 대규모 데이터 세트를 처리할 수 있습니다. MIT Linearflex 822는 IC 생산을 간소화하고 처리량을 늘리기 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 자산입니다. 고해상도 이미징과 정교한 소프트웨어 도구를 결합하여 거시적 (macroscopic) 및 미시적 (microscopic) 수준에서 안정적이고 자동화된 IC 검사를 제공합니다. 견고한 설계와 종합적인 도구를 갖춘 이 모델은 IC 설계 및 제조 (Manufacturing) 어플리케이션에 적합합니다.