판매용 중고 MCVAC MCM-160 #9266954

MCVAC MCM-160 마스크 및 웨이퍼 검사 (Wafer Inspection) 장비는 반도체 웨이퍼 제작에 사용되는 웨이퍼 및 마스크에 대한 고해상도 이미징을 제공하는 고급 이미징 및 검사 장치입니다. MCM-160은 웨이퍼 스캔 기능과 마스크 검사 기능을 모두 포함하는 올인원 (All-in-One) 시스템입니다. MCVAC MCM-160은 새로운 렌즈 어레이 (lens array) 기술을 사용하여 웨이퍼 또는 마스크에서 각 패턴의 미세한 이미지를 얻습니다. 이 장치는 웨이퍼 기판 및 마스크 (직경 200mm) 의 결함 및 기판 관련 기능을 검사 할 수 있습니다. MCM-160에는 이미징 웨이퍼를위한 5 메가 픽셀 CCD 센서가 있습니다. CCD 센서의 시야는 2.5 × 38 × 2.5 mm이며, 최대 5 초의 해상도로 단일 웨이퍼 (wafer) 의 활성 영역을 가로 질러 9mm 폭의 시야를 스캔 할 수 있습니다. CCD 센서는 다양한 방향과 방향으로 스캔하여 웨이퍼의 수직 (vertical) 및 측면 (lateral) 기능을 모두 캡처하도록 구성할 수 있습니다. 이를 통해 웨이퍼에 대한 미세한 세부 사항을 정확하게 이미징하여 MCVAC MCM-160은 특히 핀홀, 작은 산화물 특징, 작은 접촉/경유 이상, 작은 입자 및 라인 분해에 적합한 검사기로 만듭니다. MCM-160에는 마스크 검사 기능도 있으며, 이는 최대 200mm 직경의 마스크를 검사하는 데 사용할 수 있습니다. 이 도구에는 4 메가 픽셀 필터 어레이 (CCD) 와 조정 가능한 초점 렌즈 (focus lens) 가 장착되어 있어 마스크의 각 패턴의 미세한 이미지를 얻을 수 있습니다. 자산은 라인 브레이크 (Line Break), 반바지 (Shorts) 및 오염 (Contamination) 과 같은 결함을 6äm까지 낮출 수 있습니다. 이 모델에는 또한 피쳐 검색 기능 (feature detection capability) 이 있으며, 이는 마스크 품질에 영향을 줄 수 있는 라인 엔드 (line-end) 또는 패턴 위치 불일치를 감지하는 데 사용할 수 있습니다. MCVAC MCM-160은 고해상도 이미지 획득 외에도 웨이퍼 정렬 (wafer alignment) 및 임계 치수 측정을 수행할 수도 있습니다. 장비에는 자동 정렬 기능 (Auto Alignment Feature) 이 장착되어 있어 웨이퍼를 정확하게 배치하고 시스템을 웨이퍼의 이미징 방향에 맞출 수 있습니다. 이렇게 하면 장치가 웨이퍼의 기능을 올바르게 캡처할 수 있습니다. 또한 MCM-160에는 중요한 치수 분석 피쳐가 있어 피쳐 모서리와 지름 크기를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 전반적으로 MCVAC MCM-160 Mask and Wafer Inspection Machine은 고급 이미징 및 검사 장치로, 웨이퍼 및 마스크의 고해상도 이미징을 제공합니다. 이 도구에는 웨이퍼 스캐닝 (wafer scanning) 및 마스크 검사 (mask inspection) 기능이 있어 웨이퍼 또는 마스크에서 결함과 기판 관련 피쳐를 정확하게 감지 할 수 있습니다. 또한 웨이퍼 정렬 및 중요 치수 측정을 수행 할 수 있습니다.