판매용 중고 MATSUSHITA M777 #9329275

MATSUSHITA M777 마스크 및 웨이퍼 검사 장비 (Mask & Wafer Inspection Equipment) 는 반도체 웨이퍼 및 포토 마스크 검사를 위해 특별히 설계된 고정밀 옵토 기계 계측 도구입니다. 반 인치 텔레센트릭 렌즈를 사용하여 목표 샘플을 이미지화하며, 해상도는 1 미크론 이상입니다. 샘플 서피스의 이미지는 여러 개의 비축 배율 (off-axis magnification) 에서 촬영되어 포괄적인 서피스 검사 및 분석을 가능하게 합니다. M777은 레이저 간섭법 (laser interferometry), 무채색 이미징 (achromatic imaging) 및 위상 측정 (phase-measurement) 과 같은 검사 프로세스를 수행하기 위해 다양한 광학 이미징 기술을 사용합니다. 이를 통해 웨이퍼 서피스의 고해상도 분석을 통해 피쳐 크기, 서피스 피쳐, 입자 오염을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 시스템에는 10 나노미터 이상의 측정 된 결과를 반복 할 수있는 자체 보정 장치 (self-contined self-calibration unit) 가 장착되어 있습니다. 기계에는 웨이퍼 매핑 (wafer mapping) 기능이 있어 검사 진행 중 웨이퍼를 추적할 수 있습니다. 또한, 결함 데이터베이스를 MATSUSHITA M777로 프로그래밍하여 나중에 검토 및 특성화를위한 결함 영역을 추적 할 수 있습니다. 이 도구는 칩 토폴로지 (Chip Topology), 피쳐 배치 (Feature Placement) 와 같은 매우 미세한 표면 세부 사항과 현미경으로 해결하기에는 너무 작은 피쳐를 캡처 할 수 있습니다. 이를 통해 1 나노 미터 미만의 해상도로 높은 정밀 웨이퍼 구조를 분석 할 수 있습니다. 또한 M777 에셋은 사용자와 악기 자체를 보호하기 위해 안전 기능으로 설계되었습니다. ESD 보호 내부 환경과 내장된 반사/비반사 도어 (reflective/non-reflective door) 설계로 조명이 검사 영역을 떠나지 않도록 합니다. 또한 전용 냉각 회로가 특징이며, 작동 중 모델의 과열 방지 (overheating) 를 제공합니다. MATSUSHITA M777 장비는 반도체 웨이퍼 및 마스크를 검사하기위한 참으로 뛰어난 도량형 도구입니다. 광학 이미징 기술을 통해 표면 분석 (surface analysis) 에서 가장 정확성을 높일 수 있으며, 내장 안전 기능은 작동 중에도 보호 기능이 강화되었습니다. M777 마스크 & 웨이퍼 검사 시스템 (M777 Mask & Wafer Inspection System) 은 사용 편의성과 성능이 우수하여 고급 반도체 도량형에 적합합니다.