판매용 중고 MATSUSHITA M515-III #9361954

MATSUSHITA M515-III는 기판의 고속 및 고밀도 도량형을 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 반도체 소자 프로브 및 기타 반도체 관련 소자에 대한 종합적인 측정 솔루션을 제공합니다. M515-III에는 고해상도 이미징 및 자동 측정 기능을 갖춘 고급 광학 이미징 시스템 (Optical Imaging System) 이 장착되어 있습니다. 이 장치는 객관적인 초점기를 동력 단계 (motorized stage) 와 오실로스코프 (oscilloscope) 와 통합하여 다양한 도량형 매개변수를 정확하게 측정합니다. 또한 마스크 패턴 및 웨이퍼 레이아웃 스캔 (Wafer Layout Scan) 자동 측정을위한 리모콘 유닛도 포함되어 있습니다. MATSUSHITA M515-III의 이미징 기능에는 고해상도, 먼/가까운 필드 이미징, 다양한 명암비 및 밝기 제어 알고리즘, 색상 감지, 자동 결함 감지 및 추적 가능성을 위한 VCR/필름 에뮬레이션이 포함됩니다. 이 도구는 또한 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 의 도량형 데이터를 빠른 속도와 정확도로 측정 할 수 있습니다. M515-III의 임베디드 로봇 공학은 정확한 단일/반복 측정 및 자동 웨이퍼 매핑을 가능하게합니다. 단일/이중 채널 시스템을 지원하고, 자동 패턴 배치와 웨이퍼 이미지를 지원하며, 향상된 False Feature Detection 기능을 제공합니다. MATSUSHITA M515-III에는 통계 데이터뿐만 아니라 결정적 출력 측정을 생성하는 지능형 피쳐 분석 (Intelligent Feature Analysis) 이 제공됩니다. 또한 광 프로세스 제어, 광 웨이퍼 모니터링, 오버레이 등록, 다이 식별을 수행할 수 있습니다. 또한 메모리 용량, 저소음 증폭기 (low-noise amplifier) 기술, 고급 해상도 광학 (optical depth of field) 이 최대 9.5m에 이릅니다. M515-III (M515-III) 는 시장에서 가장 고급적이고 정교한 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템 중 하나입니다. 또한 사용자는 최고의 제어, 정확성 및 측정 성능을 제공합니다. 고급 로봇, 지능형 기능 분석, 고해상도 이미징, 확장 메모리 용량 등의 기능을 통해, MATSUSHITA M515-III는 대용량 작업, 정확성 및 수요를 위한 이상적인 솔루션이 됩니다.