판매용 중고 LEITZ MPV-CD2 #293749265

LEITZ MPV-CD2는 1X 및 5X 스테퍼 및 스캐너를위한 현미경 기반 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 3 가지 광학 구성 요소 (간섭 현미경, 이미지 검출기 및 마이크로 미터 헤드) 로 구성됩니다. 간섭현미경 (interference microscope) 은 검사 과정에서 마스크와 웨이퍼의 이미지를 캡처하는 데 사용됩니다. 수치 조리개가 0.34 인 객관적 렌즈와 1/2- 센서가 있습니다. 또한 디지털 포커스 잠금 장치 (digital focus lock) 를 사용하여 마스크 또는 웨이퍼 동작에 관계없이 지속적으로 초점을 맞출 수 있습니다. 이미지 검출기는 2,048 x 2,048 픽셀 및 12 비트 디지털화가있는 충전 된 커플 장치 (CCD) 입니다. 3 ° m 시야에서 전체 25äm 이미지를 생성 할 수 있습니다. 또한 이미지 세부 사항을 최대화하기 위해 최대 10,000 배의 가변 이득을 갖습니다. 마이크로 미터 헤드는 검사 과정에서 정점 정확도에 사용됩니다. 각 및 모든 검사에서 100% 정확성을 보장하기 위해 25äm 정확도의 4 축 회전 스테이지에 장착됩니다. MPV-CD2는 다양한 사용자 친화적 기능도 갖추고 있습니다. 타사 애플리케이션과 직접 통신할 수있는 인터페이스가 포함되어 있습니다. 각 검사 결과를 기록하는 프로세스 모니터링 장치; 최대 이미지 품질을 보장하는 간섭계 적광 보호 기계. LEITZ MPV-CD2는 사용하기 쉽고 정확하므로 마스크 및 웨이퍼 검사에 이상적인 솔루션입니다. 작은 이미지 결함에서 큰 이미지 결함까지, MPV-CD2 (MPV-CD2) 기능은 각/모든 검사가 정확하고 안정적이라는 자신감을 제공합니다.