판매용 중고 LEITZ Ergolux #93723

LEITZ Ergolux는 혁신적인 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 최첨단 이미징 기술 (Advanced Imaging Technologies) 을 결합하여 검사 과정에서 전례없는 수준의 정확성과 효율성을 달성합니다. 이 시스템은 검사된 재료의 미세 구조에 대한 포괄적인 뷰를 제공하며, 자동 결함 감지 (Automatic Defect Detection), 3D 스캔 (3D Scanning), 결함 분류 (Defect Classification) 등 다양한 강력한 기능을 제공합니다. 이 장치는 최대 0.5 마이크로미터 해상도 (종종 "Deep Submicron" 또는 "DSM") 로 웨이퍼 또는 마스크에서 마이크로 결함을 감지하고 분류하도록 설계되었습니다. 이를 통해 사용자는 노드, 피트 (pit), 균열 (crack) 등 여러 유형의 결함을 빠르고 반복 가능하며 안정적으로 파악할 수 있습니다. Ergolux는 다양한 마이크로 및 매크로 검사 기능을 제공합니다. 예를 들어, 사용자는 3 차원 분석을 수행할 수 있으며, 이는 요소의 미세 구조를 포괄적으로 볼 수 있습니다. 여기에는 표면 거칠기, 균열, 공백 및 기타 미세 구조 결함을 식별하는 기능이 포함됩니다. 또한, 기계에는 고급 DIC (Digital Image Correlation) 기술이 장착되어 있어 스트레스 코팅, 도량형 및 기하학적 모양 분석을 수행 할 수 있습니다. 공구의 인체 공학적 설계 (ergonomic design) 는 검사 객체의 정확하고 안정적인 위치를 보장하며, 샘플을 쉽게 액세스할 수 있도록 합니다. 따라서 자산 친화적인 기능을 통해 보다 빠르고 정확한 샘플 검사를 수행할 수 있습니다. 이 모델은 다양한 고급 소프트웨어 툴로 구동되며, 성능을 극대화하기 위해 철저한 테스트, 미세 조정이 가능합니다. 또한 직관적이고, 완벽하게 사용자 정의 가능한 사용자 인터페이스 (user-interface) 를 제공하여 특정 요구에 따라 설정을 쉽게 조정할 수 있습니다. 이를 통해 운영자는 장비의 기능과 매개변수를 애플리케이션의 요구 사항에 완벽하게 부합할 수 있습니다 (영문). 또한 LEITZ Ergolux Mask & Wafer Inspection System에는 광범위한 데이터 분석 기능이 있습니다. 여기에는 상세 보고서 생성 (표면 지형 분석, 표준 비교 벤치마킹) 이 포함됩니다. 에르 골룩스 (Ergolux) 는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장치 (wafer inspection unit) 로, 사용자가 효율적이고 반복 가능한 방식으로 서브 미크론 (submicron) 에서 거시적 (macroscopic) 에 이르기까지 다양한 결함을 식별하고 분류 할 수 있습니다. 즉, 최첨단 이미징 기술과 직관적인 소프트웨어 툴을 결합하여, 사용자가 특정 요구 사항에 맞게 설정을 빠르고 쉽게 조정할 수 있게 해 줍니다.