판매용 중고 LEITZ Ergolux #9151463
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라이츠 에르고 룩스 (LEITZ Ergolux) 는 반도체 제조에 사용되는 웨이퍼와 마스크의 결함을 빠르고 정확하게 감지하도록 설계된 우수한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고급 LED 기술과 혁신적인 광학 구성 요소를 통해 최고의 효율성과 정확성을 제공합니다. 가면이나 웨이퍼의 서피스에 대한 고해상도 이미지를 생성하기 위해 경계 (Colimated) 구조의 광원단위 (Light Unit) 를 사용합니다. 통합 3D 비전 센서는 이러한 이미지를 정확하게 캡처하여 단락, 열기, 모서리 결함, 누락선 등 다양한 결함에 대해 분석합니다. 이 기계는 또한 제조하는 동안 문제를 일으킬 수있는 외국 입자와 오염 물질을 식별 할 수 있습니다. 에르고 룩스 (Ergolux) 는 전통적인 마스킹 시스템보다 더 많은 유형과 크기의 결함을 감지 할 수 있으므로 대량 생산에 이상적입니다. 이 도구는 빠르고 단일 패스의 단일 웨이퍼 (wafer) 에서 여러 사이트를 검사 할 수 있습니다. 에셋의 통합 광학은 고속 레이저 스캐너 (Raser Scanner) 와 각 웨이퍼 또는 마스크 사이트를 별도로 검사하는 고해상도 디지털 카메라 (Digital Camera) 를 특징으로합니다. 이것은 더 큰 정확성을 보장하고, 극단적 인 환경 상태에서도 모델을 안정적으로 만듭니다. 라이츠 에르고 룩스 (LEITZ Ergolux) 는 고급 알고리즘과 소프트웨어를 사용하여 이미지의 각 픽셀에서 명암과 공간 반응을 계산함으로써 자동화된 결함 감지를 제공합니다. 또, 색상검사 (color inspection) 를 통해 전통적인 마스킹 기술로 보기가 어려운 색소 결함을 감지할 수 있습니다. 이 장비는 다양한 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 (mask) 크기와의 호환성뿐만 아니라 쉽게 통합하고 설치할 수 있도록 설계되었습니다. 이 시스템의 설치 공간 (small footprint) 과 유연한 장착 옵션 (flexible mounting options) 을 통해 단단한 공간에 설치할 수 있습니다. 편의성을 높이기 위해, Ergolux 는 인터넷이나 다른 네트워크 연결을 통해 원격으로 작동하고 모니터링할 수 있습니다. 또한, 이 장치를 미리 프로그래밍하여 자주 사용되는 설정을 기억하고, 시스템을 구성할 때 시간과 노력을 절약할 수 있습니다. 라이츠 에르고 룩스 (LEITZ Ergolux) 는 마스크 및 웨이퍼에 결함을 신속하고 정확하게 검사하는 안정적인 방법을 제공합니다. 그렇기 때문에 반도체 제조업체들 사이에서 인기있는 선택입니다. 견고한 설계, 고급 기능, 손쉬운 설치 기능을 통해 모든 마스크 또는 웨이퍼 검사기 (wafer inspection machine) 에 적합한 솔루션이 될 수 있습니다.
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