판매용 중고 LEITZ Ergolux #77138

ID: 77138
Trinocular microscope, 6x6 stage, 12.5 Periplan eyepieces, NPL5, 20 and 50 df motorized turret and laser focus, with a 100 watt illuminator.
라이츠 에르고 룩스 (Leitz Ergolux) 는 현대 반도체 산업의 요구를 위해 설계된 혁신적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 포토 마스크, 레티클 및 웨이퍼를 검사하는 데 사용됩니다. 미세한 먼지 입자 (microscopic particle of dust) 에서부터 칩, 구덩이 또는 구조적 손상과 같은 더 큰 이상까지 가능한 결함의 범위가 있습니다. 에르 골룩스 (Ergolux) 는 다재다능하고 기능성이 풍부한 시스템으로, 비용을 절감할 수있는 큰 잠재력을 보유하고 있으며, 동시에 엔드프로덕트의 생산 품질을 높입니다. LEITZ Ergolux에는 최신 스캔 기술이 적용되어 포토 마스크, 레티클, 웨이퍼의 고해상도 이미지를 캡처 할 수 있습니다. 검사 속도를 최대 200GHz까지 조정하면, 몇 초 안에 검사를 완료할 수 있습니다. 8MP 이미지 수집 장치 (8MP Image Gathering Unit) 가 장착되어 있어 가장 작은 세부 사항까지 정확하게 캡처할 수 있습니다. 이 기계는 또한 매우 민감한 광학 센서를 통합하며, 최대 5 m 크기의 결함을 감지 할 수 있습니다. 인상적인 스캔 기능 외에도 Ergolux는 강력한 결함 감지 알고리즘을 통합합니다. 입수된 이미지를 분석함으로써, 공구는 구덩이와 칩, 섬유 가닥, 입자에 이르기까지 다양한 결함을 식별 할 수 있습니다. 자산은 또한 완전한 보고 (Reporting) 모델을 제공하여 생산량 (Yield of Production) 을 신속하게 파악할 수 있습니다. 인상적인 기능 외에도 LEITZ Ergolux도 운영하기가 매우 쉽습니다. 사용자 친화적 인 터치스크린 인터페이스 (Touch Screen Interface) 를 통해 장비의 설정을 손쉽게 구성할 수 있습니다. 또한 통합 데이터 관리 시스템 (Integrated Data Management System) 을 통해 설정과 이미지를 모두 저장하고 회수할 수 있습니다. 전반적으로, 에르고 룩스 (Ergolux) 는 혁신적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장치이며, 사실상 모든 반도체 생산 시설의 요구를 충족 할 수 있습니다. 고급 스캐닝 (Scanning) 기능과 강력한 결함 감지 알고리즘을 통해 비용을 절감하면서 수율을 증가시킵니다. 또한, 사용하기 쉬운 인터페이스를 통해 다양한 애플리케이션에 이상적인 선택이 가능합니다.
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