판매용 중고 LEITZ Ergolux #60381
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ID: 60381
Trinocular with DF and BF
Motorized nosepieces
10x eyepieces
50x, 100x, 250x, 500x, 1000x NPL Plan
6" stage XYZ
5 mega pixel camera/video plus software
Can measure at less than micron level
Can measure exact distance between micron objects.
LEITZ Ergolux Mask & Wafer Inspection Equipment는 제조 및 과학 응용 분야의 마스크와 웨이퍼를 검사하는 데 사용되는 최첨단 기계입니다. 이 시스템은 고급 광학 기술 (Optical Technologies) 을 사용하여 광범위한 마스크 및 웨이퍼 유형의 다양한 특성을 정확하고 정확하게 측정합니다. 광학 도량형 장치 (Optical Metrology Unit) 는 검사된 서피스의 탁월한 정확도와 신속한 데이터 분석을 제공합니다. 머신의 빠르고 간편한 작동을 통해 대용량 (high-volume) 생산과 연구 개발 (Research and Development) 환경에서 사용할 수 있습니다. Ergolux Mask & Wafer Inspection Tool은 통합 옵틱과 공간 조명 변조기 (SLM) 가있는 기본 장치로 구성됩니다. SLM에는 마스크 또는 웨이퍼의 서피스를 측정하고 분석하는 데 필요한 컴포넌트가 포함됩니다. 여기에는 레이저 광원, 편광 빔 스플리터 및 탐지 광학이 포함됩니다. 기본 장치에는 자산 작동에 필요한 CPU, DSP 및 기타 하드웨어가 들어 있습니다. 이 모델은 광학 현미경 (optical microscope) 과 같은 전통적인 방법에 비해 종종 너무 작은 표면 피쳐를 감지하고 측정 할 수 있습니다. 프로파일, 평면 외부 변위, 서피스 거칠기, 반사율, 전송, 구조 특성 등 다양한 매개변수에 대한 데이터를 제공합니다. 이 장비에는 고급 데이터 분석 (Advanced Data Analysis) 및 시각화 (Visualization) 기능이 장착되어 있어 운영자가 신속하게 결과를 해석할 수 있습니다. LEITZ Ergolux Mask & Wafer Inspection System은 다양한 측정을 수행 할 수 있습니다. 여기에는 서피스 텍스처, 필름 두께, 응력, 측면 각도, 평판 등급, 재료 구성, 프로파일, 평면 외 변위 등이 포함됩니다. 광학 장치 (Optical Unit) 는 고도 (Height) 범위에서 집중된 이미지를 보장하기 위해 활성 초점 알고리즘으로 구성됩니다. 기계 의 인체 공학적 설계 는 "오퍼레이터 '가 장기간 편리 하게 작동 할 수 있도록 조정 되어 있다. Ergolux Mask & Wafer Inspection Tool은 편향되고 신뢰할 수 있는 상세하고 정확하며 반복 가능한 데이터 분석을 제공하도록 설계되었습니다. 자산의 탁월한 성능은 안정적이고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 이 시스템은 또한 포괄적인 소프트웨어 제어 옵션 (Software Control Options) 과 포괄적인 모델 문서 (Model Documentation) 를 제공하므로 자동화 시스템에 쉽고 안전하게 통합할 수 있습니다. LEITZ Ergolux Mask & Wafer Inspection Equipment (Leitz Ergolux Mask & Wafer Inspection Equipment) 는 다양한 마스크와 웨이퍼에 대한 신뢰할 수 있고 정확한 검사가 필요한 모든 응용 프로그램에 적합한 선택입니다. 고급 광학 기술, 작동 편이성, 인체 공학적 설계 (ergonomic design) 기능을 갖춘 이 시스템은 효율적이고 강력한 툴을 제공하여 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다.
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