판매용 중고 LEITZ Ergolux #140286
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라이츠 에르고 룩스 (Leitz Ergolux) 는 반도체 제조업체가 가장 정확한 생산 요구 사항을 충족하도록 설계된 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 특허받은 다중 스펙트럼 이미징 시스템 (multi-spectral imaging system) 을 사용하여 Ergolux는 생산 과정에서 마스크와 웨이퍼 모두에서 결함을 감지하고 진단 할 수 있습니다. 라이츠 에르 고 룩스 (LeITZ Ergolux) 는 다양한 고급 이미징 기술 및 알고리즘을 통합하여 표면 및 지표면 결함을 높은 정확도로 3äm까지 안정적으로 감지합니다. 고해상도 RGB 옵틱과 고급 반도체 등급 조명 (Illumination) 을 결합하여 Ergolux는 전송 및 반사 된 빛 조건의 결함을 분석 할 수 있습니다. 또한 이미지 처리 (Imaging) 및 결함 피쳐의 분석 (analysis of defect features) 을 원격으로 모니터링하고 제어할 수 있으므로 장치 운영 및 유지 보수에 소요되는 비용을 줄일 수 있습니다. LEITZ Ergolux의 이미지 처리 및 알고리즘 개발에 중점을 둔 반도체 제조업체는 결함을 빠르고 정확하게 식별, 정량화, 분류할 수 있습니다. 고급 이미지 처리 기술과 알고리즘 덕분에 Ergolux는 브리지 (bridge) 와 오픈 쇼트 (open shorts) 와 같은 기본 패턴 변형에서 반복 가능성 오류, 이중 패턴 문제 등 다양한 결함을 감지 할 수 있습니다. 라이츠 에르고 룩스 (LEITZ Ergolux) 는 유연한 결함 데이터 관리를 가능하게 하며, 머신 설정의 구성 및 조정을 단순화하는 직관적인 연산자 (operator) 인터페이스를 제공합니다. 이 인터페이스는 다양한 수준의 공차 (tolerance) 를 가진 다양한 결함에 대해 이미지를 스캔할 수 있는 검사 프로그램을 만들고 사용자 정의하는 데 사용됩니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 통해 운영자는 이미지 분석 결과를 사양과 쉽게 비교하고, 향후 검사를 위해 도구 (Tool) 의 설정을 필요에 따라 조정할 수 있습니다. Ergolux 는 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 의 결함을 검사하고 진단하는 데 매우 안정적이고 비용 효율적인 도구입니다. 이 제품은 결함에 대한 상세한 실시간 가시성을 제공하며, 유연한 설계를 통해 수요 중심 운영을 지원하므로 결함을 신속하고 정확하게 분석하고, 디바이스 품질을 인증할 수 있습니다 (영문). 이러한 기능을 통해 LEITZ Ergolux는 오늘날 사용 가능한 최고의 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템 중 하나로 유명합니다.
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