판매용 중고 LEITZ Ergolux #131146

LEITZ Ergolux는 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템의 리더입니다. 이 장비는 입자, 긁힘, 천공성 (asperity), 작은 기능 등 결함에 대한 마스크 및 웨이퍼에 대한 정확하고 높은 처리량 검사를 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 고급 스캐닝 알고리즘을 통해 검사 정확도 및 속도 향상, 고해상도 이미징 (예: 접촉 구멍, 개방, 비아) 을 제공합니다. 이 장치는 하나의 가벼운 이미징 헤드를 사용하여 복잡성을 줄이고 성능을 최적화합니다. 이미징 헤드 (Imaging Head) 에는 세그먼트 선형 광 다이오드 센서 배열과 최대 100mm 이상의 조정 가능한 광학 시야가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 고해상도 (high resolution) 이미지에서 시스템을 동시에 스캔하고 넓은 영역을 빠르게 검색할 수 있습니다. 이 도구에는 모델의 초미세 동작 능력을 향상시키는 10축 동작 제어 에셋이 장착되어 있습니다. 모션 컨트롤 (Motion Control) 장비는 스캐닝 레이저 시스템과 통합되어 고품질 이미지를 캡처하고 중요한 정보를 빠르고 정확하게 추출합니다. 또한 고급 패턴 일치 알고리즘을 사용하여 기능과 잠재적 결함을 정확하게 식별하는 IDD (Intelligent Defect Detection) 머신이 장착되어 있습니다. 이 툴은 또한 고급 장애 분석 기능 (Advanced Failure Analysis Capability) 을 통해 사용자가 의심되는 결함을 신속하게 조사할 수 있습니다. Ergolux는 오픈 플랫폼 자산이기도합니다. 라이츠 (LEITZ) 툴킷을 사용하여 프로그래밍되며, 특정 프로세스 요구 사항에 맞춘 검사 프로토콜을 개발, 사용자 정의할 수 있는 유연성을 제공합니다. 통합 소프트웨어는 또한 강력한 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 모델을 구성하고, 작업을 생성하고, 관리하고, 결함 감지 정책을 개발하고, 상세한 검사 결과를 검토할 수 있습니다. LEITZ Ergolux는 시간당 최대 120 개의 웨이퍼, 최대 97% 의 고해상도 탐지율을 갖춘 탁월한 처리량을 제공합니다. 이 장비는 안정적이고 정확한 성능을 제공하여 모든 검사 (inspection) 어플리케이션에 적합한 옵션입니다.