판매용 중고 LEITZ Ergolux #118783

라이츠 에르고 룩스 (LEITZ Ergolux) 는 반도체 제조 공정의 품질 관련 문제를 파악하고 해결하기 위해 설계된 최첨단, 정밀 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 많은 비용이 소요되고 시간이 소요됩니다. 이 시스템의 정교한 비전 (vision) 및 자동화 솔루션은 전체 품질 보증 (quality assurance) 프로세스의 효과를 극대화하여, 검사된 웨이퍼 당 전체 비용을 절감할 수 있도록 설계되었습니다. Ergolux 는 자동화된 3D 의 거친 기능 검사에서부터 미세하고 복잡한 기능을 포괄하는 2D (종합적인 2D) 검사까지 다양한 고급 기능을 제공합니다. 마스크 및 웨이퍼의 2 차원 토폴로지를 캡처 할 수있는 이 장치는 이전 리소그래피 (lithography) 노출 레이어의 패턴 또는 구조에서 오류를 정확하게 감지 할 수 있습니다. 또한 t-top 구조, 대량 결함, etch 결함 및 기타 이상과 같은 패턴화되지 않은 피쳐의 존재를 감지하는 데 사용할 수 있습니다. 이 기계는 6축 다중 센서 부품 정렬 도구 (6축 multi-sensor part alignment tool) 를 사용하여 시력과 강제 변위 기법을 조합하여 프로세스 전반에 걸쳐 정확한 부품 정렬을 보장합니다. 이 에셋을 사용하면 사용자가 모델의 시야에서 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크를 빠르고 정확하게 정렬할 수 있으므로 수동 정렬에 내재된 잠재적 오류 (potential error) 가 제거됩니다. LEITZ Ergolux는 또한 강력한 조명 및 이미징 기능을 자랑합니다. 이 장비는 다양한 광원을 제공하여 정확한 n 차원 이미징을 보장하고 정확한 측정 및 평가를 가능하게합니다. 또한, Ergolux 는 사용자에게 다양한 렌즈 (lens) 옵션을 제공하여 특정 이미징 및 분석 요구 사항에 따라 최상의 (best) 옵션을 선택할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 다양한 전자 제품 기반 모듈 (옵션) 과 업그레이드 패키지 (예: 대형 마스크 칩에 대한 향상된 검사 알고리즘, 고급 결함 검토/보고 머신) 를 제공합니다. 이렇게 하면 제조 및 검사 프로세스의 요구 사항에 맞게 공구를 사용자 정의할 수 있는 유연성 (Flexibility to Customize) 이 제공됩니다. 마지막으로, LEITZ Ergolux 는 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 제공하여 마스크와 웨이퍼 검사의 복잡하고 정교한 작업을 관리합니다. 이를 통해 사용자는 자산 설정을 구성하고, 검사 결과를 보고, 검사로부터 발생하는 데이터를 검토, 분석, 해석할 수 있습니다. 요약하자면, 에르고 룩스 (Ergolux) 는 강력하고 다양한 마스크 및 웨이퍼 검사 모델로, 반도체 제조 공정의 품질 관련 문제를 빠르고, 정확하게 파악하고, 해결할 수 있는 다양한 도구와 기능을 사용자에게 제공할 수 있습니다.