판매용 중고 LEITZ Ergolux #104835
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LEITZ Ergolux 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 포토 마스크 및 웨이퍼 검사를 자동화하기 위해 설계된 일종, 완전 자동화 시스템입니다. 이 장치는 다양한 반도체 제조 프로세스를 지원하며, 다중 계층 및 다중 단계 컴포넌트를 검사하는 데 사용할 수 있습니다. 이 기계에는 마이크로 미터 정밀도 판독값을 취할 수있는 고정밀, 3 차원 프로파일 측정 단계와 프리즘 정렬을위한 고해상도 현미경이 포함됩니다. Ergolux 도구는 두 가지 마스크 및 웨이퍼 검사 모드를 지원합니다. 첫 번째 모드 (자동 마스크 검사) 는 일련의 이미지 처리 및 패턴 인식 (pattern recognition) 기술을 사용하여 다양한 photomask 검사를 수행하는 것으로 구성됩니다. 여기에는 레이어 간의 정렬 정확도 확인, 패턴의 균일성 평가, 마스크 패턴 (mask pattern) 의 모양과 크기 확인 등이 포함됩니다. 두 번째 모드 (자동 웨이퍼 검사) 는 마스크 검사 모드와 동일한 일련의 이미지 처리 (image processing) 및 패턴 인식 (pattern recognition) 기술을 사용하지만 웨이퍼에 레이어의 고급 깊이 측정도 포함합니다. 고정밀도, 3 차원 프로파일 측정 단계는 마이크로미터 정밀도 판독값을 취하고 고해상도 이미지와 정확한 3D 프로파일을 빠르게 얻을 수 있습니다. 또한, LEITZ Ergolux 에셋에는 강력한 이미지 처리 알고리즘이 장착되어 있어, 거의 모든 형태 또는 크기에서 높은 복잡도 패턴을 신속하고 안정적으로 검사할 수 있습니다. 이 모델에는 직관적이고 사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface, GUI), 강력한 검사 엔진 및 필요한 경우 수동 개입을위한 고해상도 현미경의 세 가지 주요 구성 요소가 있습니다. 검사 엔진은 예측 알고리즘과 인공 지능 (AI) 을 사용하여 스캐너에 의해 포착 된 이미지를 오류, 결함 또는 기타 문제가있는 패턴으로 분석합니다. 그 현미경 의 도움 을 받아, 수동 검사 와 조정 역시 신속 히, 쉽게 할 수 있다. Ergolux 장비는 자동화된, 고정밀 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템을 원하는 반도체 제조업체에 이상적인 솔루션입니다. 이 장치는 생산 시간을 단축하고, 주기 시간을 줄이고, 안정적이고, 높은 품질의 결과를 얻기 위해 사용될 수 있습니다. 또한, 이 기계는 구성 능력이 뛰어나며, 각 제조업체의 특정 프로세스와 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다.
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