판매용 중고 LEITZ Ergolux 200 #67745
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ID: 67745
Inspection microscope, 8x8
Super widefield ergonomic, tilting trinocular head
10x SWF eyepieces
5 place motorized nosepiece
100 watt halogen light source
Manual X-Y stage with a quick scanning feature, as well as standard movement
Rotating wafer puck for up to 8" wafers
Objectives:
Brightfield / Darkfield: 5x, 10x, 20x, 50x, 100x
150x .95na Brightfield/darkfield objective
The objective selection buttons are integrated into the stand
Optional: Camera systems, archiving and measuring software.
LEITZ Ergolux 200은 LEITZ GmbH가 설계 및 제조 한 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템에는 CCD 카메라와 마스크· 웨이퍼의 결함· 기타 불규칙성을 검사하는 고급 머신비전 (machine vision) 장치가 장착돼 있다. 기계 는 "마스크 '와" 웨이퍼' 를 검사 할 수 있으며 최대 해상도 는 10 "미터 ', 하부 는 1" 미터' 이다. 이 툴은 전체 시야를 완벽하게 균일하게 캡처하는 하이엔드 (High-End) Optic을 특징으로 합니다. 에셋은 또한 멀티 스테이지 신호 처리를 통해 정확한 결과를 보장합니다. 이 모델에는 조정 가능한 초점 (focus) 과 조명 제어 (illumination control) 가 있어 이미지를 정확하게 제어 할 수 있습니다. LED 조명 모듈은 LED 조명 (LED lighting) 과 확산 장치 (diffuser) 를 사용하여 빛을 균등하게 분산시켜 정확하고 균일한 이미지를 제공합니다. 이 장비에는 마스크 및 웨이퍼를 분석할 수 있는 다기능 디지털 패턴 인식 소프트웨어 (옵션) 가 포함되어 있습니다. 이른바 "쌍안경 '과" 고해상도 비교 현미경' 도 포함돼 있다. 이 시스템에는 자동화된 멀티 스테이지 검사 프로세스가 있으며, 여러 마스크와 웨이퍼를 동시에 검사할 수 있습니다. 또한 고속 로드 및 언로드 (unloading) 옵션을 통해 폐기물을 줄이고 효율성을 극대화할 수 있습니다. 또한 자동 장애 인식 (Automated Failure Recognition) 및 재시도 (Retry) 기능을 통해 결함을 검사하고 파악하는 데 소요되는 시간을 단축할 수 있습니다. 에르골룩스 200 (Ergolux 200) 은 내구성이 뛰어나고 신뢰할 수있는 검사 기계로, 의료 및 반도체 산업에 이상적인 선택입니다. 이 제품은 처음부터 끝까지 빠르고, 안정적이며, 정확하며, 품질 관리 (Quality Control) 를 향상시키고, 비용이 많이 드는 결함의 위험을 줄일 수 있도록 설계되었습니다. 이 도구는 산업 환경에서의 사용에 대해 EN 61326 인증을 받았으며 EU 에 CE 규정을 준수합니다.
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