판매용 중고 LEICA / VISTEC LDS 3300M #293652321

ID: 293652321
빈티지: 2007
Inspection system 2007 vintage.
LEICA/VISTEC LDS 3300M은 미세한 선과 고대비 기능으로 구성된 포토 마스크 및 웨이퍼를 정밀하게 분석하도록 설계된 완전 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고해상도 1000m 검진 영역 카메라를 통합하여 최대 140 MP 해상도를 지원하므로 표면 및 서브 표면 기능의 고해상도 이미징을 사용할 수 있습니다. 반사 마스크 (Reflective Mask) 및 전송 마스크 재료 (Transmission Mask Material) 의 다양한 배열을 지원하며 최대 20nm 라인과 공간 (Space) 의 기능을 이미징할 수 있습니다. LEICA LDS3300M에는 이미지 빼기, 이미지 추가, 비교, 마스크 정렬 등 다양한 강력한 후처리 도구가 장착되어 있습니다. 그런 다음 정렬된 이미지를 색상 코딩, 3D 검사, false 색상 매핑 등의 기능으로 추가로 처리할 수 있습니다. VISTEC LDS 3300M에는 정교한 옵틱 및 이미지 처리 기능이 장착되어 있어 안정적이고, 정확하며, 신속하게 검사할 수 있습니다. 독특한 고정밀 검사 기술은 정렬 정확도, 즉 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 사이의 치수 정확도를 평가하기 위해 특별히 설계되었습니다. 이 장치는 마스크 검증, 제품 설계의 개발 감독, 매개변수 검증 및 확인에 이상적입니다. 이 기계는 정밀도 외에도 여러 검사 (inspection) 작업을 병렬로 실행하도록 프로그래밍되어 프로세스 및 제품 데이터 처리량 (product data throughput) 이 향상되었습니다. LDS 3300 M 에는 고급 밝기 및 명암비 제어 도구 (Contrast Control Tool) 가 포함되어 있어 밝은 필드 및 어두운 필드 이미징에 대한 밝기 및 명암비 설정 (Contrast Settings) 을 수정하고 이미지 결함과 구별할 수 있습니다. 또한, 자산에는 통합 자동 결함 검토 (automated defect review) 및 분류 프로세스 (classification process) 가 포함되어 있어 검사 및 검토 중 생산성이 향상됩니다. 또한 LDS3300M (Built-In Chip Qualification Module) 을 통해 안정적인 칩 생산 프로세스를 보장하고, 마스크 성능을 간편하게 평가할 수 있는 다양한 성능 지표를 제공합니다. 마지막으로, LEICA/VISTEC LDS 3300 M에 포함 된 예방 유지 관리 모델은 장비가 최고 효율로 일관되게 작동하도록 보장합니다. 이 시스템은 원격 오류 감지 (error detection) 및 알림 (notification) 기능을 통해 높은 처리량과 중요한 제조 환경에 적합합니다. LEICA LDS 3300M은 마스크 및 웨이퍼 검사를 위한 빠르고, 정확하고, 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공하며, 현재 제공되는 가장 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템 중 하나입니다.
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