판매용 중고 LEICA / VISTEC LDS 3000M #9267069

LEICA/VISTEC LDS 3000M은 복잡한 기하학적 구조의 결함을 감지하고 식별하기 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 초당 여러 개의 프레임을 가진 대형 시야각 (field-of-view) 을 갖춘 초고해상도 5.3 메가픽셀 (MP) 컬러 라인 스캔 카메라를 갖추고 있습니다. 이미지를 17형 모니터에 색상으로 표시할 수 있어, 여러 샘플을 쉽게 평가하고 비교할 수 있습니다. LEICA LDS 3000M 은 고급 Optic 과 고급 이미징 장치를 활용하여 일관되게 고품질의 안정된 이미지를 생성합니다. 정밀 스테이지 모션 머신은 VISTEC LDS 3000M에 통합되어 고속 스캐닝 및 고정밀 마스크 정렬을 모두 지원합니다. 이 도구의 고급 광 자산은 크기가 40nm까지 기능을 감지 할 수 있습니다. LDS 3000M 은 최대 20dB 의 광도 변형을 감지할 수도 있습니다. LEICA/VISTEC LDS 3000M은 넓은 영역의 장치에서도 핀홀, 결절과 같은 매우 작은 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한, 이 모델에는 오정렬 (misalignment), 간격 (spacing), 선 너비 (line-width) 와 같은 특정 실패한 사이트를 신속하게 감지할 수 있는 향상된 검사 기능이 있습니다. LEICA LDS 3000M은 또한 높은 정확도로 개별 마스크 내에서 패턴을 식별하는 데 도움이되는 고급 결함 분류 (Advanced Defect Classification) 기능을 제공합니다. VISTEC LDS 3000M (VISTEC LDS 3000M) 은 눈의 깜박임에 복잡한 이미지를 렌더링하여 더욱 빠르고 정확한 평가를 가능하게 합니다. 이 장비는 자동화된 결함 범주화를 제공하여 검사 시간을 크게 줄입니다. 또한 LDS 3000M 은 결함 추출을 더욱 정밀하게 조정할 수 있는 기능을 제공합니다. LEICA/VISTEC LDS 3000M에는 마스크 검사 및 분석을위한 강력한 환경을 제공하는 다양한 편집/분석 기능이 장착되어 있습니다. LEICA LDS 3000M에서 생성한 이미지는 이미지 형식으로 저장하거나, 다양한 파일 형식으로 내보낼 수 있으므로, 추가 분석을 수행할 수 있습니다. 전반적으로 VISTEC LDS 3000M은 신속하고 정확한 결함 탐지가 가능한 고급 자동 고해상도 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 고급 이미징 장치 (Advanced Imaging Unit) 는 마스크 및 웨이퍼 결함의 매우 높은 해상도와 안정적인 이미지를 생성하도록 설계되었으며, 자동화된 결함 분류는 효율적이고 정확한 결과를 보장합니다.