판매용 중고 LEICA / VISTEC LDS 3000 #9237522
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LEICA/VISTEC LDS 3000은 광 마스크, 사진 풀, 웨이퍼를 정확하게 검사하고 평가하기 위해 고안된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 집적 회로 (IC) 및 기타 고정밀 부품의 제조에 사용할 수 있습니다. 이 시스템은 고급 이미지 분석 (advanced image analysis) 및 시각화 (visualization) 기능을 통합하여 운영자가 다양한 유형의 마스크와 웨이퍼에 대한 결함을 쉽게 식별할 수 있습니다. 이 장치는 업계 최고의 이미징 머신과 기술을 사용하여 마스크 (mask) 및 횡단면 (cross-sectional) 웨이퍼에 대한 최고 수준의 성능 검사를 제공합니다. 독특한 18 인치 평면 패널 모니터와 뛰어난 이미지 품질을 제공하는 포스포 코팅, 고해상도 광학 현미경이 특징입니다. 사용자 친화적이며, 빠르고 쉽게 운영할 수 있는 다양한 옵션을 제공합니다. 광학 확대의 해상도는 최대 100X이며, SEM (Scanning Electron Microscope) 이미징의 해상도는 최대 1000X입니다. 이 도구에는 최적화된 결함 검사 기준을 생성하는 자동 패턴 (patterning) 기능이 있습니다. 또한 LEICA LDS 3000 을 사용하면 정확도 및 효율성 향상을 위해 특별한 결함 매개 변수를 생성할 수 있습니다. 즉, 사용자가 이미지 처리에서 결함 검증에 이르기까지 wafer 검사 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, 내장된 고해상도 이미징 및 자동 패턴 인식 기능을 통해 정확한 마스크와 웨이퍼를 보장할 수 있습니다. 에셋은 또한 다양한 중요한 크기 및 크기 (예: 선 너비, 다이 크기, 노치 길이) 를 측정 할 수 있습니다. 또한 라이브러리 비교, 오류 알림 (false alarm screening), 오류 기록 저장 (defect history storage) 등의 특수 결함 데이터 관리 기능을 제공합니다. 마스크 및 웨이퍼 정렬을 위해 VISTEC LDS 3000은 완전 자동화 된 로봇 비전 모델을 사용합니다. 이 장비는 미크론 내에서 정확하며, 복잡한 등록 표시와 구조를 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 또한, 내장 데이터베이스 추적을 통해 사용자는 모든 결함 및 검사 활동을 추적할 수 있습니다. 결국, LDS 3000 은 안정적이고 강력한 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 시스템으로, 가장 까다로운 애플리케이션의 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 고급 기능 (Advanced Features) 과 기능을 통해 사용자는 빠르고 쉽게 우수한 결과를 얻을 수 있습니다.
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