판매용 중고 LEICA / VISTEC INS 3300 #9195365

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LEICA / VISTEC INS 3300
판매
ID: 9195365
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2002
Review station 2002 vintage.
LEICA/VISTEC INS 3300은 다양한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 컬러, 고해상도 이미지의 광학 검사를위한 도량형 (metrology-grade) 기능과 반도체 프로세스의 모든 단계에 대한 차원 및 고정밀 측정을 제공합니다. LEICA INS 3300의 유연한 설계는 고도로 자동화된 생산 환경의 변화하는 요구를 충족시킵니다. VISTEC INS 3300은 모든 크기의 웨이퍼 및 마스크에 대한 높은 정확도, 비접촉 광 검사를 제공합니다. 이 장치는 자동 초점, 스티칭, 광학 결함 검사, fiducial 정렬 및 fiducial 측정을 사용하여 마스크와 웨이퍼의 정확성을 보장합니다. 이 기계는 광 (optical) 및 마스크 (mask) 결함을 자동으로 감지하여 운영 프로세스 오류를 신속하게 파악하고 수정하고, 시간이 많이 드는 레티클 리메이크를 방지할 수 있습니다. 이 도구는 마스크 모양의 정확성을 확인하기 위해 정확한 측정을 제공합니다. 매우 민감한 이미징 센서는 X 축과 Y축에서 서브 미크론 해상도를 제공하는 반면, 14 비트 A/D 컨버터는 Z축의 정확성을 보장합니다. 또한, 2D 및 3D 표면 분석 알고리즘은 임계 치수 정확도와 결함 검출을 보장하기 위해 마스크 피쳐의 컨투어 매핑을 제공합니다. 또한, INS 3300 을 통해 엔지니어는 여러 마스크를 동시에 검사할 수 있으므로 여러 개의 재측정이 필요하지 않습니다. 다중 마스크 검사 (Multi-Mask Inspection) 기능은 여러 소스에서 마스크를 동시에 검사할 수 있도록 지원하므로 처리 시간이 단축되고 생산이 안정성이 향상됩니다. 요약하면, LEICA/VISTEC INS 3300은 반도체 부품 제조업체에 광범위한 강력하고 다양한 기능 및 기능을 제공합니다. 도량형 (Metrology-Grade) 정확성, 정밀한 자동 측정 기능, 동시 다중 마스크 검사 기능을 통해 향상된 제품 품질 및 신뢰성을 원하는 조직에 이상적인 자산입니다. 또한, 유연한 디자인은 자동 초점, 스티칭, 광학 결함 검사, fiducial 정렬 및 fiducial 측정 기능을 통해 변화하는 대용량 반도체 산업의 요구에 부합합니다.
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