판매용 중고 LEICA / VISTEC INS 3300 #9043674
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LEICA/VISTEC INS 3300은 제조 수율, 결함 감지 및 고장 분석을 위해 반도체 마스크 및 웨이퍼를 분석하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 완벽한 자동, 고속 이미징 (High Speed Imaging) 및 검사 시스템으로, 뛰어난 해상도와 높은 처리량을 결합한 반면, 모든 결함이 잘못된 양성 (False Positive) 없이 올바르게 분류됩니다. 이 장치는 자동화된 13 메가 픽셀 CMOS 센서를 사용하여 심층 검사를 위해 전체 1x 시야각 확대에서 마스크/웨이퍼 이미지를 신속하게 캡처합니다. 또한 잠재적 결함을 인식 및 분류하기 위해 다중 뷰 감지를 제공합니다. 조명 수준 (light level) 과 노출 시간 (exposure time) 을 자동으로 조정하여 기계는 정확하고 일관된 이미지 캡처 및 검사 결과를 보장합니다. 이 도구는 translumination 및 backside irradiation 모두에서 마스크/웨이퍼를 검사 할 수 있습니다. 이 자동 조명 프로세스 (automated lumination process) 는 일관된 광도 및 조명각을 제공하여 마스크/웨이퍼의 모든 피쳐를 동일한 정확도와 해상도로 검사합니다. 에셋에는 데이터 분석 및 프로그래밍이 가능한 Image Toolbox 소프트웨어가 있습니다. 이 소프트웨어를 기반으로 모델을 보정하여 다양한 기능을 감지하고, 결함에 대한 이미지를 분석하고, 결과를 보고할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 데이터 아카이빙, 알파 입자 매핑 및 결함 분류를 지원합니다. Inspect 3300의 첨단 기술 (Advanced Technology) 은 마스크와 웨이퍼를 체계적으로 균일하게 검사해야 하는 제조업체에 이상적인 선택입니다. 정밀도 (precision optic), 소프트웨어, 하드웨어 구성요소가 장착되어 있어 최고의 정확성과 속도를 제공합니다. 또한, 고급 이미징 및 검사 기능을 통해 수요가 많은 어플리케이션에 적합합니다.
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