판매용 중고 LEICA / VISTEC INS 3300 #293595578

LEICA / VISTEC INS 3300
ID: 293595578
Wafer inspection system.
LEICA/VISTEC INS 3300 Mask & Wafer Inspection Equipment는 반도체 제작 산업을위한 완전히 자동화된 고정밀 이미징 및 결함 검토 시스템입니다. 이 장치는 생산성, 정확성, 안정성을 극대화하는 동시에 생산성, 처리량, 품질이 향상되었습니다. 이 기계는 동력 단계 및 동력 확대/축소 광학, 이미징 프로세서 전자 제품 및 분석 도구로 구성됩니다. 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 표면의 고해상도 이미징을 통해 마스크 및 웨이퍼의 뛰어난 매크로 및 마이크로 이미징을 제공하도록 설계되었습니다. 고대비 (high contrast) 와 저대비 (low contrast) 결함 모두를 다양한 결함 크기, 모양, 위치에 검색하고 출력할 수 있습니다. 이 도구는 OPC (Optical Proximity Correction) 이미징 기술을 사용하여 이미지 마스크 및 웨이퍼 레이아웃 기능을 사용합니다. 이 기법은 고해상도와 저소음으로 5 마이크로미터 (5 micrometer) 정도의 작은 치수의 특징을 정확하게 이미지화할 수 있습니다. 이 자산은 또한 프로세스 변형을 정확하게 모니터링하기 위해 scribe line imaging을 수행 할 수 있습니다. 이 모델은 고배율 (마스크의 경우 40 배, 웨이퍼의 경우 50 배) 및 저배율 (마스크의 경우 40 배, 웨이퍼의 경우 25 배) 이미지를 모두 생성 할 수 있습니다. 높은 배율 이미지는 결함 분류에 사용되고, 낮은 배율 이미지는 프로세스 피드백 (process feedback) 에 사용됩니다. 이미지는 TIFF, JPEG 및 PNG를 포함한 다양한 형식으로 저장할 수 있습니다. LEICA INS 3300 장비는 사용이 간편한 툴과 직관적인 인터페이스를 통해 사용자 편리하게 설치, 운영할 수 있도록 설계되었습니다. 직관적인 GUI 설계를 통해 시스템은 보다 쉽게 작업할 수 있으며, 또한 '장치 설정 (settings)' 과 '구성 (configuration)' 을 제어할 수 있습니다. VISTEC INS 3300 머신은 최고의 화질 (Image Quality) 이미징 및 감지 기능을 제공하는 한편, 최고의 처리량과 최고의 생산성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 툴은 비용 효율적이면서도 안정성이 뛰어나며, 최고 수준의 이미지 출력을 유지하면서 자본 비용 (capital expenditure) 을 절감할 수 있습니다. 고급 기술, 자동 기능, 사용자 친화적 설계를 갖춘 INS 3300 Mask & Wafer Inspection Asset은 품질, 처리량, 수율을 향상시키려는 반도체 제조업체에 이상적인 솔루션입니다.
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