판매용 중고 LEICA INS 3300 #9393066

LEICA INS 3300
ID: 9393066
Wafer inspection system.
LEICA INS 3300은 EUV 및 몰입을 포함한 고급 패턴 (Advanced Patterning) 응용 프로그램의 초고해상도 검사를 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 초고해상도 듀얼 열 이미징 장치 (Dual-column Imaging Unit) 와 정교한 검사 소프트웨어를 통합하여 검사된 각 샘플에 대한 종합적인 결과를 제공합니다. 이 기계는 25 기가 픽셀 카메라를 갖추고 있으며, 기존의 광학 시스템보다 최대 10 배 향상된 이미징 해상도를 제공합니다. 이 초고해상도는 LEICA 독점 최첨단 Optic에 의해 더욱 강화되었으며, 이는 최고의 이미지 명암과 가장 어려운 프로세스 기능의 정확한 확대를 제공합니다. LEICA INS3300 에 포함된 소프트웨어 패키지는 강력하고 다양하며, 모든 애플리케이션에 대한 검사 계획과 매개변수 (parameter) 세트를 빠르고 쉽게 만들 수 있습니다. 이 소프트웨어는 검사 프로세스를 제어하기 위한 강력한 옵션을 갖춘 직관적인 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 를 갖추고 있습니다. 또한 기능별 결함을 분석 및 감지하여 검사된 각 샘플에 대한 자세한 보고서를 제공 할 수 있습니다. 또한 INS 3300 은 자동화된 포괄적인 툴을 갖추고 있어 검사 결과의 정확성과 반복성을 향상시킵니다 (영문). 여기에는 정밀 정렬 도구, 상세한 기능 분석을 위한 여러 이미지의 자동 병합, 신속한 분석을 위한 실시간 결함 (real-time defect) 식별이 포함됩니다. 이 도구는 모듈성과 확장성을 위해 설계되었습니다. 다각도 검사 (multi-angle inspection), 최대 확대 (higher maximum magnification) 또는 확장 시야 (extended field of view) 를 위한 추가 이미징 장치를 추가하여 자산 기능을 확장하려는 고객도 가능합니다. 전반적으로, INS3300 (INS3300) 은 오늘날 가장 발전된 패턴화 요구 사항을 충족하도록 설계된 정교하고 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 모델입니다. 이 장비의 초고해상도 이미징 (Ultra Resolution) 그래픽 인터페이스, 자동 분석 도구 및 모듈식 설계는 품질 보증 실험실을 위한 매력적인 선택입니다.
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