판매용 중고 LEICA INS 3000 #293813191
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LEICA INS 3000은 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 마스크 및 웨이퍼 검사 응용 프로그램 모두에 고급 이미징 및 측정 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 독특한 옵티컬 벤치 데신 (optical bench desin) 으로 구성되며, 빠른 스캐닝 및 마스크 및 웨이퍼 정렬에 최적화되어 있습니다. 이 장치에는 고해상도 웨이퍼 검사 모듈 (High Resolution Wafer Inspection Module) 이 포함되어 있어 처리량을 극대화하고 반복 가능성과 재현성을 처리할 수 있습니다. 이 기계는 더 빠르고 안정적인 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 결함 처리를 제공하도록 설계되었습니다. 또한 wafer 및 mask synchronization 을 자동으로 제어하여 가장 정확한 시간 (시간) 을 확보할 수 있습니다. 고성능 이미징 툴에는 허위 감지 (false detection) 를 식별하고 제거하는 고급 알고리즘이 포함되어 있으며, 검토하기 쉬운 관련 결함 감지 결과 목록을 작성합니다. 이 에셋에는 고급형 옵티컬 엔진 (Optical Engine) 이 장착되어 있어 광 (Light) 모드와 다크필드 (Darkfield) 이미지 모드를 모두 갖춘 최상의 화질을 제공합니다. 고성능 광학 모델에는 마스크 및 웨이퍼를 정확하게 측정하고 집중하기 위한 자동 정렬 (auto alignment) 및 결정 조건 (crystalline conditioning) 이 포함됩니다. 이 장비는 또한 다양한 마스크 및 기판에 대한 자동 (automatic light level) 보정을 통해 고급 자동 조정 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 특정 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 검사 활동을 위해 쉽게 사용자정의되는 미리 정의된 이미지 처리 알고리즘 라이브러리도 포함되어 있습니다. 이 장치에는 또한 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 가 포함되어 있어, 엔지니어가 보안 및 워크플로우 지향 방식으로 이미징 시스템에 액세스하고 제어할 수 있습니다. GUI를 사용하면 연산자가 기계의 검사 및 측정 활동을 빠르고 효율적으로 시작할 수 있습니다. 고성능 이미징 도구 외에도 LEICA INS-3000에는 포괄적 인 감각 패키지가 장착되어 있습니다. 여기에는 온도 센서 모듈, 노이즈 센서 모듈, 공축 진동 모듈이 포함됩니다. 이 자산에는 다기능 교정 단계 (multi-functional calibration stage) 가 포함되어 있어 최고 수준의 정밀도를 위해 광 모델을 자동으로 교정할 수 있습니다. INS 3000 은 광/장비 수준의 성능을 단일 패키지로 제공합니다. 현재 시판되고 있는 첨단 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 검사 시스템 중 하나입니다.
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