판매용 중고 LEICA INS 3000 DUV #9265730
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ID: 9265730
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
Macro defect inspection system, 8"
Loading configuration: ASYST SMIF
(2) Cassette stations
Hard disk, 3.5"
Microscope objectives: 2.5x, 5x, 20x, 100x, 150x, 250x
Option:
Bright and dark field illumination
Damaged parts:
Workstation
Diaphragm module
Pre-aligner with tumble and stage unit
Includes:
Clean room manuals
CD-ROM Manuals
Calibration standards
UV Illumination
Confocal
Signal light tower
Operation system: Windows NT 4.0
Power supply: 208 V, 60 Hz
2000 vintage.
LEICA INS 3000 DUV는 고급 웨이퍼 제작 어플리케이션을 위해 설계된 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고해상도 이미징 장치 (high-resolution imaging unit), 초고속 진동 격리 플랫폼 (ultra-stable vbration isolation platform) 및 고급 워크플로우 소프트웨어 (advanced workflow software) 제품군을 활용하여 트랜지스터 및 저항기와 같은 집적 회로의 성능에 영향을 줄 수 있는 결함을 정확하게 측정합니다. 첨단 기술로, 기계는 웨이퍼 제작 중 결함을 식별하고 측정할 수 있으며, 엔지니어들에게 재료의 구조적 무결성 (structural integrity) 과 성능에 대한 자세한 이해를 제공합니다. 인에스 3000 듀브 (INS 3000 DUV) 는 진동 격리를 위해 초안정 (ultra-stable) 플랫폼을 사용하여 고도로 현지화된 결함을 감지하기에 이상적인 환경을 보장합니다. 이 특수 플랫폼 덕분에, 이 도구는 뛰어난 이미징 안정성을 제공하여, 보다 정확한 측정이 가능합니다. 또한, 초저조도 수준은 미크론 (sub-micron) 해상도뿐만 아니라 불규칙성에서 뛰어난 명암과 민감성을 허용합니다. 자산의 정교한 워크플로우 소프트웨어 (workflow software) 제품군은 데이터 수집 및 결함 분석을 용이하게 합니다. 이 소프트웨어는 결함 평가 (Defect Evaluation) 및 분류 (Classification) 를 위한 다양한 알고리즘과 결합된 고해상도 패턴 및 결함 이미지를 쉽게 액세스할 수 있습니다. 또한, 사용자는 많은 양의 웨이퍼 (wafer) 데이터를 저장하고 추적 가능성 정보를 기록할 수 있습니다. LEICA INS 3000 DUV 는 반도체 업계에서 가장 까다로운 애플리케이션을 위한 강력하고 안정적인 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 모델입니다. 이 장비의 정교한 모니터링 및 분석 (monitoring and analysis) 기능은 탁월한 이미징 기술과 연계되어 결함 탐지의 최고 수준의 정확도에 기여합니다. 시스템의 진동 격리 플랫폼 (Vbration Isolation Platform) 과 고급 워크플로우 소프트웨어 (Advanced Workflow Software) 는 비용 절감, 수익률 향상, 제품 품질 보장에 도움이 되는 안전하고 신뢰할 수 있는 툴을 제공합니다.
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