판매용 중고 LEICA APECS 3020 #9410740
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라이카 APECS 3020 (LEICA APECS 3020) 은 반도체 산업의 엄격한 요구를 충족시키기 위해 설계된 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 마스크 및 웨이퍼를 빠르고 정확하게 검사하는 일련의 자동 (automated) 방법을 제공하여 수작업 오류를 제거합니다. 이 장치는 직경이 최대 6 ", 기능 크기가 1.0um 인 석판 마스크를 검사 할 수 있으며 고급 이미징 기술을 통해 뛰어난 3D 분석 기능을 제공합니다. APECS 3020은 고급 AOI (Automated Optical Inspection) 기술을 활용하여 마스크와 웨이퍼 패턴을 빠르고 정확하게 검사합니다. AOI는 디지털 이미지 획득 (digital image acquisition) 을 사용하여 마스크 표면에서 이미징 데이터를 가져온 다음 해당 데이터를 처리하여 디지털 이미지를 생성합니다. 그런 다음 이 이미지를 분석하고 미리 정의된 기준 집합과 비교하여 마스크 결함 또는 불규칙성을 감지하고 식별합니다 (영문). 이 기계는 정확하고 정확한 웨이퍼 검사를 위해 고도의 정밀 스테이지 (stage) 및 고급 소프트웨어 (software) 알고리즘을 갖추고 있습니다. 고해상도 단계 (High-resolution stage) 를 사용하면 웨이퍼 서피스에서 작은 피쳐를 정확하게 검색할 수 있고, 고급 소프트웨어 알고리즘을 사용하면 마스크 서피스에서 피쳐의 정확하고 정확한 위치를 측정할 수 있습니다. LEICA APECS 3020은 또한 직관적인 조작과 마스크 및 웨이퍼 검사 프로세스에 대한 정확한 제어를 위해 사용이 간편한 사용자 인터페이스 (user interface) 를 제공합니다. 모든 도구 컨트롤은 터치 스크린과 인체 공학적 키패드를 통해 액세스 할 수 있습니다. 이 자산은 또한 분석 결과를 저장하기 위해 TIFF, JPEG, RAW, GIF 및 BMP와 같은 다양한 데이터 저장 형식을 제공합니다. APECS 3020 에는 다양한 고급 (advanced) 기능이 장착되어 있어 가능한 최단 시간 내에 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. 이러한 기능에는 고속 스캔, 내장 결함 복구, 자동 초점 제어, 고급 이미지 처리 및 데이터 분석 기능, 픽셀 단위 마스크 검사, 자동 결함 수정 및 자동 보고 기능이 포함됩니다. 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 기술과 결합된 이러한 기능은 탁월한 정확도, 신뢰성, 속도를 제공합니다. 결론적으로, LEICA APECS 3020은 반도체 산업의 엄격한 요구를 충족시키기 위해 설계된 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 모델입니다. 이 장비에는 고급 옵틱 (optic), 직관적인 시스템 제어, 다양한 자동화/분석 기능이 포함되어 있어 마스크와 웨이퍼를 빠르고 정확하게 분석할 수 있습니다. APECS 3020은 모든 반도체 장치의 최고 수준의 품질과 안정성을 보장합니다.
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