판매용 중고 LAYTEC EpiTT #9201288

LAYTEC EpiTT는 4 개의 다른 조명 기술 시스템과 결합 된 광학 현미경을 활용하는 정교하고 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 마이크로미터 수준의 해상도 (micrometer level resolution) 와 고대비 웨이퍼 이미징을 허용하기 때문에 더 세밀한 패턴 분석을 위해 설계되었습니다. 또한 밝은 장, 어두운 장, 반사율, 형광 조명 기술의 조합으로 나노 미터 스케일 결함 및 기능을 감지 할 수 있습니다. 이 장치에는 컴퓨터 제어 거꾸로 된 광학 현미경, 확대/축소 기능, 10 나노미터까지 다른 기능에 집중하는 기능이 포함되어 있습니다. 이를 통해 웨이퍼 표면에 결함이 엄청나게 상세하게 이미징 할 수 있습니다. 또한 EpiTT는 자동화된 다이 모션 머신 (die motion machine) 을 갖추고 있어 쉽고 효율적인 스캐닝 및 검사를 수행할 수 있습니다. LAYTEC EpiTT와 함께 사용할 수있는 다양한 카메라 (색상 및 단색 옵션 모두 포함) 가 있습니다. 애플리케이션 요구 사항에 따라, 둘 중 하나를 사용할 수 있으므로, 기능 및 기능 측면에서 훨씬 더 유연하게 사용할 수 있습니다. 예를 들어, 색상 카메라는 다른 유형의 결함을 감지할 수 있기 때문에 바람직할 수 있습니다. 즉, 단색 전용 도구 (Monochrome-Only Tool) 에서 다른 유형의 결함을 감지할 수 있습니다. 에피 (EpiTT) 는 또한 이미지 웨이퍼의 다양한 매개 변수를 측정하기 위해 맞춤 된 강력한 이미지 분석 소프트웨어 패키지를 포함합니다. 이 패키지에는 광학 픽셀 비교, 가장자리 감지, 회색 음영 판별, 대비 조정 등의 측정 도구 모음이 포함되어 있습니다. "웨이퍼 '의 여러 부분 을 조사 할 때 는" 효율성' 과 "정확성 '을 크게 향상 시키고 잠재적 인 결함 을 검사 하도록 설계 되었다. 또한 소프트웨어 패키지 (software package) 는 다양한 분석 알고리즘을 제공하여 빠르고 안정적인 결함 및 기능 측정이 가능합니다. 전반적으로 LAYTEC EpiTT 자산은 강력하고 효율적인 도구로, 매우 정확하고 세부적으로 마스크 및 웨이퍼 검사에 사용할 수 있습니다. 여기에는 밝은 필드, 어두운 필드, 반사율, 형광 조명 (Fluorescence Illumination) 기술, 최신 이미지 분석 소프트웨어 패키지 (Image Analysis Software Package) 등 모든 응용 프로그램에 맞게 구성 가능한 다양한 기기와 구성 요소가 장착되어 있습니다. 이러한 기능을 통해 EpiTT는 고성능 결과와 최고 품질의 이미징 (imaging) 및 측정 (measurement) 기능을 제공하여 마스크 및 웨이퍼 검사를 위한 필수적인 도구입니다.