판매용 중고 LASERTEC M8351 #9386141

LASERTEC M8351
ID: 9386141
Resist patterned / Blank inspection system.
LASERTEC M8351 마스크 및 웨이퍼 검사 장비 (Mask & Wafer Inspection Equipment) 는 레이저 광학을 사용하여 0.13mm 이상의 얇은 웨이퍼와 최대 8 "x10" 이상의 마스크를 정확하고 안정적으로 검사하는 자동 검사 시스템입니다. 초점이 깊은 HD 디지털 현미경으로, 1 미크론 정도의 작은 인라인 (inline) 기능을 시각적으로 확인할 수 있습니다. 이 장치는 전체 필드 (full-field) 또는 시야 라인 (line of sight) 검사를 통해 스크래치, 오염, 모서리 결함 및 기타 심각한 기능 결함을 검사할 수 있습니다. 또한 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 가장자리에서 오염을 감지하여 더 높은 시트 저항 판독값을 발생시켜 장치 성능이 떨어질 수 있습니다. 이 기계는 웨이퍼 또는 마스크에 밝은 빛을 제공하는 헬륨-네온 (Helium-Neon) 레이저 광원을 기반으로합니다. 이 고도로 제어 가능한 레이저 빔 (laser beam) 은 웨이퍼 표면을 가로 질러 청소하고 선형 방식으로 마스크합니다. 그런 다음 반사광은 ADC (analog-to-digital converter) 신호와 동기화됩니다. 그런 다음 ADC는 정보를 레이저 광학 프로세서 (Laser Optics Processor) 로 전송하고 알고리즘을 사용하여 이미지를 분석하고 결함을 감지합니다. 이 툴은 모든 종류의 결함 또는 오염을 몇 초 안에 감지할 수 있으며, 제품 제조 (Product Manufacturing) 에서 가장 높은 품질 표준을 보장하는 다용도, 신뢰성 있는 툴입니다. 웨이퍼와 마스크의 2 차원 및 3 차원 스캔을 모두 수행하며 화면에 발견된 결함이 있으면 빠르고 간단한 결함 분류가 가능합니다. 자산은 최대 2,000 개의 이미지를 저장할 수 있으며, 이는 장기적인 프로세스 제어 및 인간 오류 최소화에 이상적입니다. 전체적인 설계를 통해 LASERTEC M 8351은 견고하고 사용하기 쉬운 모델로, 견고한 공장 환경을 견디고 수작업 비용을 절감할 수 있습니다. 이 장비는 또한 고급 자동화 기능을 통해 로트 크기마다 매개 변수가 다른 단일 (single) 또는 다중 (multiple-pass) 검사를 수행 할 수 있습니다. 모듈식 설계를 통해 사용자는 모든 응용 프로그램에 가장 적합한 광학, 센서, 조명 소스를 선택할 수 있습니다. 강력한 속도, 정확성, 신뢰성 조합으로 M8351 Mask & Wafer Inspection System은 다양한 업계 어플리케이션에 적합한 선택입니다. 제품 품질 (Product Quality) 의 일관성을 보장하며 고객 만족에 대한 부정적인 영향을 줄일 수 있습니다.
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