판매용 중고 LASERTEC M8351 #9230283
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LASERTEC M8351 마스크 및 웨이퍼 검사 장비 (Mask & Wafer Inspection Equipment) 는 생산 라인의 마스크 및 웨이퍼에 대한 표면 결함을 검사하고 측정하도록 설계된 고정밀 광학 검사 시스템입니다. 이 장치는 반도체 장치에 대한 고속, 고해상도 검사 및 측정 (measuration) 기능을 제공하여 빠르고 정확한 결함 감지 기능을 제공합니다. LASERTEC M 8351의 주요 구성 요소에는 다중 파장 렌즈 결합 레이저 스캐너, 고정밀 스테이지 머신, 고급 소프트웨어 및 주파수 안정화 된 레이저 소스가 포함됩니다. 스캐너는 스펙트럼 스캐닝 (spectral scanning) 기술을 활용하여 광범위한 물질에서 결함을 감지하고 이미지를 제공합니다. 고급 소프트웨어에는 강력한 기능 인식 알고리즘, 나노 측정 (nanometric measures) 및 정확한 결함 식별을위한 고급 이미지 처리 기능이 포함되어 있습니다. 이 도구는 최대 5 나노 미터까지 결함을 감지 할 수 있으며, 해상도는 최대 10 옹스트롬입니다. M8351은 결함 분류, 결함 매핑, 접촉 구멍 검사, 2D 에지 검사, MOS 웨이퍼 표면 검사, 레이저 현미경 기능 등 다양한 검사 및 측정 기능을 제공합니다. 고속 운영 및 자동 워크플로는 어려운 샘플의 자동 검사 및 측정을 지원합니다. 또한, 자산은 고급 광학 표면 특성 (Optical Surface Characterization) 모델과 결합하여 웨이퍼 및 결함의 표면을 검사하기위한 통합 웨이퍼 도량형 솔루션을 제공 할 수 있습니다. 고급 하드웨어와 소프트웨어의 독보적인 조합 덕분에 M 8351 은 안정적이고 재현가능한 검사와 측정 결과 (업계 최고의 보안, 신뢰성) 를 제공합니다. 이 장비는 정확도가 높고 정확성이 높으며 프로세스 (process) 와 신뢰성 제어 (Reliability Control) 에서 고급 장애 분석 (Advanced Failure Analysis) 에 이르기까지 다양한 산업 요구 사항에 적합합니다. 또한 직관적인 사용자 친화적 인터페이스를 통해 쉽게 작동할 수 있습니다. 전반적으로 LASERTEC M8351 (LASERTEC M8351) 은 강력하고, 안정적이며, 정확한 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템으로, 광범위한 재료에서 표면 결함을 검사하고 측정하는 기능을 갖추고 있습니다. 정확한 결함 감지, 다중 파장 스캐너 및 고속 작동으로 인해 생산 라인에 이상적입니다. 다양한 기능을 갖춘 LASERTEC M 8351 은 반도체 업계의 품질 관리 (Quality Control) 를 위한 완벽한 선택입니다.
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