판매용 중고 LASERTEC M8351 #9228093

LASERTEC M8351
ID: 9228093
Blank inspection system Resist pattern.
LASERTEC M8351 (LASERTEC M8351) 은 중요한 포토 마스크 및 레티클 기판의 물리적 결함을 감지하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 140 nm (Nanometer) (최대 140 nm) 크기의 결함을 이미징 및 분석할 수 있으며, 다양한 이미지 분석 및 결함 특성 (characterization) 기능을 제공하여 제품의 품질 및 수율을 향상시킵니다. LASERTEC M 8351은 고속 이미지 캡처 및 결함 분석을위한 고급 초점 기술과 함께 향상된 ELT (Laser Error Scanning) 기술을 사용하여 서브 미크론 해상도와 빠른 검사 시간을 제공합니다. ELT를 사용하면 FOV (optical field of view) 보다 훨씬 큰 기판의 결함, 패턴 오정 및 색상 변화를 신속하게 식별 할 수 있습니다. 이 기계는 다크 필드 이미징, 로우 앵글 스캐닝, 하이 다이내믹 레인지 이미징 등 다양한 이미징 모드를 제공합니다. 이를 통해 사용자는 각 뷰 (field of view) 의 다양한 유형의 결함을 분석하여 검사 정확도와 효율성을 극대화할 수 있습니다. 또한 M8351 은 직관적인 사용자 친화적 인터페이스를 통해 작업 (operation) 모드 및 이미지 캡처 설정을 신속하게 조정할 수 있습니다. 또한 도구에 이미지를 쉽게 업로드하거나 다운로드하여 분석/보고를 수행할 수 있습니다. M 8351 은 자동화 툴이 내장된 자동화된 자산으로, 샘플 설정 및 자동 노출 제어 (automatic exposure control) 기능을 통해 작업을 단순화할 수 있습니다. 또한 DPAST, PROFILER, OVI, NDT 및 OES와 같은 다양한 소프트웨어 패키지를 지원합니다. LASERTEC M8351은 포괄적이고 자동화된 수동 이미지 분석 및 마스크 분석 진단 기능을 제공합니다. 이 모델은 또한 사용자에게 실시간 결함 분석 및 통계 표시를 제공합니다. 고객은 장비의 결함 감지 (Defect Detection) 기능을 활용하여 프로세스 계층의 여러 수준 간의 장애를 상관 관계, 분석, 파악할 수 있습니다. LASERTEC M 8351에는 직관적이고 인체 공학적 인 디자인이 장착되어 있어 빠르고 쉽게 작동 할 수 있습니다. 전문적이고 정밀도가 높은 렌즈 시스템 (lens system) 과 광학 네비게이터 (navigator) 를 제공하여 뛰어난 이미지 해상도를 제공합니다. 이 장치는 또한 다양한 고해상도 (High Resolution) 카메라를 지원하며, 이미징 어플리케이션용으로 특별히 설계된 다양한 이미지 형식과 해상도를 제공합니다. 결론적으로, M8351은 정확하고 강력한 이미징 및 분석 기능을 제공하는 고급, 확장 가능한, 인체 공학적 마스크, 웨이퍼 검사 머신입니다. 이 도구는 임계 photomask 및 reticle 기판의 결함을 140 나노 미터 (140 나노 미터) 까지 감지하고 식별하기 위해 특별히 설계되었습니다. 자산의 특징은 정밀성과 정확성을 요구하는 산업용 (CS) 및 기업용 어플리케이션에 적합한 선택입니다.
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