판매용 중고 KURODA System #293665542
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쿠로다 장비 (KURODA Equipment) 는 반도체 제조업체가 리소그래피 및 웨이퍼 자체에 사용되는 마스크에서 결함을 식별하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 이 KURODA 장치는 Mask Inspector와 Wafer Inspector의 두 가지 큰 모듈로 구성됩니다. 마스크 인스펙터 (Mask Inspector) 는 리소그래피 프로세스에 사용하기 전에 포토 마스크의 패턴 결함을 검사하는 매우 정확한 현미경입니다. 광 회절 (optical diffraction), 서피스 프로파일로메트리 (surface profilometry), 이미지 변조 (image modulation) 와 같은 고급 이미징 기술을 사용하여 결함을 확인합니다. 이 기계는 생산 후까지 눈에 띄지 않는 미세한 패턴 결함을 감지 할 수 있습니다. 웨이퍼 검사기 (Wafer Inspector) 는 웨이퍼의 평면 서피스에서 불규칙성을 검사합니다. 고정밀도 참조 측정과 결합된 고해상도 광학 이미징 (optical imaging) 을 사용하여 생산 과정에서 발생할 수 있는 결함을 감지합니다. 참조 측정을 획득한 이미지와 비교하여 Wafer Inspector (Wafer Inspector) 는 문제가 있는지 정확하게 확인할 수 있습니다. 쿠로다 툴 (KURODA Tool) 은 마스크 및 웨이퍼 검사의 모든 측면을 포괄하는 종합 기능 세트를 포함하여 여러 가지 장점이 있습니다. 또한 정확하고 신뢰할 수 있으며, 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 경험이 부족한 운영자에게도 쉽게 사용할 수 있습니다. 또한 자산 (Asset) 은 사용자 정의가 용이하며, 모든 반도체 제조업체의 생산 요구에 맞게 맞춤형으로 조정할 수 있습니다. KURODA 모델의 비용 효율성은 많은 반도체 제조업체에 적합한 선택입니다. 기능, 정확성, 신뢰성, 사용자 친화성, 경제성을 결합하면 품질 보증 (Quality Assurance) 및 결함 식별을 위한 훌륭한 솔루션이 될 수 있습니다. 다양한 기능과 가격 경쟁력을 갖춘 장비 (Equipment) 는 다양한 마스크 및 웨이퍼 (Wafer) 검사 작업에 적합한 선택입니다.
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