판매용 중고 KOSAKA LAB RSP300-11 #293637186

코사카 랩 (KOSAKA LAB) RSP300-11은 사진 해설의 패턴 형성 과정과 설계 데이터의 레이아웃에 결함을 감지하기 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. FEOL (프런트 엔드 라인), BEOL (백엔드 라인) 및 WLP (웨이퍼 레벨 패키징) 를 포함한 광범위한 프로세스에 대한 검사 솔루션을 제공합니다. 이 시스템은 photolithographic projection unit, power supply, video camera 및 computer의 네 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. photolithographic 투영기는 멀티 빔 레이저와 이동 가능한 X-Y-Z 스테이지로 구성됩니다. 그것 은 석판화 "레티클 '을" 웨이퍼' 에 투영 하고 "웨이퍼 '표면 에 형성 된 저항층" 패턴' 을 검사 하는 데 사용 된다. 전원 공급 장치는 레이저 및 스테이지 컨트롤에 전원을 공급합니다. 비디오 카메라는 웨이퍼 이미지를 찍는 고해상도 디지털 카메라입니다. 컴퓨터 도구 (computer tool) 는 자산으로 생성된 데이터를 제어하고 분석하는 데 사용됩니다. RSP300-11은 고급 알고리즘을 사용하여 웨이퍼에 형성된 패턴을 검사하고 분석합니다. 시각적 검사에 의해 감지되지 않는 프로세스 관련 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한 photomask misalignment 및 line width step-down 오류와 관련된 패턴 오열로 인해 심각한 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 모델은 Shower File, Chor File, Laser Scanning, Sectors 등과 같은 다양한 검사 옵션으로 쉽게 구성할 수 있습니다. 이 장비에는 결함 요약, 결함 영역 매핑, 반복 실패 분석, 통계적 결함 분석 등의 자동 도구 (automatic tool) 기능도 포함되어 있습니다. KOSAKA LAB RSP300-11 은 이전 데이터를 저장하고 이를 사용하여 고객 사양과 비교 결과를 얻을 수 있습니다. 강도를 조절함으로써 패턴의 배경소음 (background noise) 으로 인한 잘못된 상대적 신호 (false relative signal) 를 제거할 수 있는 기능도 제공한다. 요약하자면, RSP300-11은 고객의 노력을 최소화하면서 패턴 결함을 감지하고 고객 사양과 비교할 수 있는 고급 기능을 제공하는 고성능 마스크/웨이퍼 (Mask-Wafer) 검사 장치입니다. 고급 알고리즘, 다중 구성 옵션 (Multiple Configuration Option) 및 자동 도구 (Automatic Tool) 기능을 통해 사용자는 프로세스 관련 결함을 빠르고 효율적으로 감지하고 프로세스 윈도우 안정성 및 제품 수율을 향상시킬 수 있습니다.