판매용 중고 KOKUSAI VR-120A #9148334

KOKUSAI VR-120A는 고급 싱글 레이어 (single layer) 또는 멀티 레이어 (multi-layer) 마스크 및 웨이퍼 패턴 구조의 생산을 위해 설계된 종합적인 멀티 센서 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 첨단 비전 기술 (Advanced Vision Technology) 과 고급 조명 시스템은 탁월한 해상도와 검사 범위를 제공합니다. 이 시스템에는 고해상도 LED 디지털 카메라 장치 (LED digital camera unit), 고속 스캔 좁은 적외선 빔 센서 및 완전 자동 결함 검사기 (fully automated defect inspection machine) 가 포함되어 있습니다. 카메라 도구는 CCD (charge-coupled device) 이미지 센서를 사용하며 최대 8.5m- 픽셀의 해상도를 제공합니다. 초당 최대 200 개의 필드에서 이미지 캡처를 제공합니다. 좁은 적외선 빔 센서는 서브 미크론 해상도를 제공하며 초당 최대 5 백만 패턴을 검사 할 수 있습니다. 신뢰할 수있는 결함 검사를위한 현장 초점 제어 자산이 포함되어 있습니다. 이 모델은 포괄적 인 패턴 감지 및 결함 감지 기능을 제공합니다. 패턴 인식 기능에는 패턴 측정, 선 너비, 레이어 두께, 표면 영역, 단계 높이 및 각도, CD (임계 치수) 및 발광 검사 등이 있습니다. 결함 감지 기능에는 기공 영역, 저항 잔류 물, 교량 샘플, 긁힘, 오염 물질, 결정 결함, 칩 에칭 및 포토 esist 개발이 포함됩니다. 장비는 10 cm x 10 cm 의 광학 시야로 전체 마스크 또는 웨이퍼를 검사 할 수 있습니다. 통합 된 스테이지 간트리 시스템 (Stage Gantry System) 과 대형 마스크 및 웨이퍼 영역을 빠르고 정확하게 검사 할 수있는 자동 스테이지 이동 장치가 있습니다. 이 기계는 수동, 반자동, 완전 자동화 작업을 지원하며 거의 실시간 결과를 제공합니다. 이 도구는 혹독한 생산 환경에서 안정적인 운영을 위해 설계되었습니다. 강력한 CPU 모듈, 사용이 간편한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스), 네트워크 포트, 메모리 확장 (옵션) 및 여러 사용자 인증 자산 (보안 작동 보장) 을 갖추고 있습니다. 또한, seaming 검사 기술 및 mask 이미지 라이브러리 (옵션) 를 사용하면 결함 재방송을 정확하게 수행할 수 있습니다. VR-120A 마스크 및 웨이퍼 검사 모델은 프로덕션 환경에서 안정적이고 정확한 검사 결과를 제공합니다. 종합적인 결함 감지 (defect detection) 및 패턴 인식 (pattern recognition) 기능을 통해 고급 마스크 및 웨이퍼 생산 프로세스에 이상적입니다.