판매용 중고 KLA / TENCOR UVision 5 #293586464

ID: 293586464
Brightfield inspection system.
KLA/TENCOR UVision 5는 제조 전에 반도체 재료의 이상을 감지하도록 설계된 고급 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고해상도 광학 (optic) 과 특허를 받은 검사 알고리즘을 사용하여 마스크 또는 웨이퍼 표면의 매우 세밀한 세부 사항 (예: 긁힘, 오염) 을 검사할 수 있습니다. 측정 민감도와 정확도가 향상되면서 KLA UVision 5 는 가장 미묘한 마스크, 웨이퍼 결함까지 감지할 수 있습니다. TENCOR UVision 5는 다중 고해상도 환경 검출기를 사용하여 비용이 많이 드는 시스템 교정 또는 추가 구성 요소 없이 웨이퍼 및 마스크를 조사합니다. 특수 다중 축 동작 제어 및 이미징 장치를 사용하여 UVision 5는 매크로 (macro) 및 마이크로 스케일 (micro scale) 모두에서 서피스의 정확한 측정 및 분석을 제공합니다. 또한 KLA/TENCOR UVision 5는 딥 러닝 및 인공 지능 기술을 사용하여 결함 및 오염 물질을 감지하고 차별화합니다. KLA UVision 5 의 자동 이미징 및 측정 시스템은 파편, 먼지, 기타 오염 물질을 포함한 오염 된 입자를 모두 감지할 수 있으며, 이는 반도체 장치의 성능에 악영향을 미칠 수 있습니다. 기계 는 "실리콘 ', 유리," 올리머' 등 여러 가지 재료 로 만든 "웨이퍼 '를 평가 하는 데 사용 될 수 있다. 이 도구는 고해상도 이미징 기술과 이미지 퓨전 (image fusion) 기능을 활용하여 마스크 또는 웨이퍼 (wafer) 의 일부를 자세히 개괄적으로 설명합니다. 에셋에는 사용자 친화적 인 인터페이스도 포함되어 있어 운영자가 신속하게 데이터를 액세스하고 마스크 (Mask) 또는 웨이퍼 (Wafer) 검사를 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 마진 분석 (Margin Analysis) 을 제공합니다. 여기서 운영자는 검사 전 및 사후 결과를 비교하여 품질 일관성을 보장할 수 있습니다. 이 모델은 전체 수동 (full manual) 또는 반자동 (semi-automatic) 모드로 작동 할 수 있으며 추가 연구를 위해 품질 (quality) 또는 제조 변형과 관련된 샘플을 캡처하도록 설계되었습니다. TENCOR UVision 5의 자동 검사 장비는 또한 추적 능력을 지원하고 규정 표준을 준수합니다. 통합 규정 준수 (compliance) 및 데이터 추적 (data-tracking) 소프트웨어가 함께 제공되므로 시스템에서 수집한 모든 데이터가 중앙 서버 장치에 안전하게 저장됩니다. UVision 5는 또한 패턴 인식, 통계 프로세스 제어를 포함한 검사 결과에 대한 확장 분석을 허용합니다. 이 기계의 고급 기능은 반도체 업계의 높은 수요를 충족시키는 데 필요한 가시성, 데이터 신뢰성, 정보 정확성 (Information Accuracy) 을 제공합니다.
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