판매용 중고 KLA / TENCOR Theta stage assemblies for 2139 #293650349

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ID: 293650349
Part number: 0219671-000.
2139 용 KLA/TENCOR 세타 (Theta) 단계 어셈블리는 검사 프로세스의 광학 품질과 반복성을 향상시키기 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 렌즈 (lense), 카메라 (camera), 조명기 (illuminator) 등 다양한 고급 광학 부품을 갖춘 자동 스테이지 어셈블리를 사용합니다. 이 장치는 초당 30 프레임의 고속 이미지 캡처를 제공하여 품질 (Quality) 결함 검사 및 분석이 가능합니다. 이 고급 머신은 최고 품질의 이미징 (Image Quality Imaging) 을 제공하여 결함 감지의 최대 정확성을 제공합니다. 세타 스테이지 (Theta stage) 어셈블리는 고효율 조명과 렌즈를 사용하여 명확한 이미지를 분석합니다. 공구의 3축 동작은 여러 마스크와 웨이퍼를 측정, 검사하는 데 매우 반복적으로 반복 가능한 동작 패턴을 제공합니다. Theta 2139에는 자산 성능과 정확도를 향상시키는 고급 기능이 포함되어 있습니다. 옵션 MPI (Multiple Patterned Illumination) 모델을 사용하면 장비가 이미지 캡처를 특정 패턴으로 조정하여 잠재적 결함을 추가로 감지 할 수 있습니다. 또한 자동화된 웨이퍼 정렬 기능 (automated wafer alignment feature) 을 사용하여 검사 개체의 빠르고 정확한 위치를 지정할 수 있습니다. 이 장치의 광학은 고급 (advanced) 기술을 활용하여 최고 품질의 이미징을 제공합니다. 이 기계는 TIR (total internal reflectance) 모드로 설계되었으며, 이는 다양한 반사도가 존재하는 고품질 이미징을 제공합니다. 또한 브라이트 필드 (brightfield) 모드를 사용하여 더 섬세한 결함을 감지 할 수 있습니다. 세타 2139 (Theta 2139) 도구는 데이터 수집 및 보고 기능, 에셋을 애플리케이션에 맞게 조정할 수 있는 소프트웨어 (소프트웨어) 등 다양한 기능과 옵션을 통해 설계되었습니다. 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 를 통해 모델의 작업 및 설정을 더욱 단순화하여 사용자가 신속하게 설치, 실행할 수 있습니다. Theta 2139는 고도로 발전된 복잡한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 탁월한 검사 기능, 반복 기능, 자동 웨이퍼 처리 및 정렬, 다중 패턴 조명, 고효율의 이미지 처리 (optic) 기능을 제공합니다. 다양한 기능과 옵션을 갖춘 세타 2139 (Theta 2139) 는 효과적인 결함 감지 및 분석을 위한 최고 품질의 출력을 제공합니다.
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