판매용 중고 KLA / TENCOR Teron 610 #9291368

KLA/TENCOR Teron 610은 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 포토 마스크 및 웨이퍼의 고급 검사 및 검토에 대한 엄격한 업계 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 2 개의 고해상도 ASML 5500 이미징 및 투사 시스템 (Projection System) 과 밝은 필드 이미징 모듈 (Field Imaging Module) 을 사용하여 마스크 또는 웨이퍼의 고해상도 이미지를 캡처하고 고밀도 분석을 위해 기판에 이미징을 투영합니다. KLA Teron 610의 AOI (Automated Optical Inspection) 기능을 사용하면 40nm 이하로 줄바꿈, 너비 변형, 모양 누락 등 결함을 감지할 수 있습니다. 이미지 데이터는 FTP 서버에 직접 저장할 수 있으며, 보고서를 전송하기 쉽고, 장치의 데이터를 다른 품질 보증 시스템 (Quality Assurance System) 과 통합할 수 있습니다. TENCOR Teron 610에는 ADR (Automatic Defect Review) 기능도 포함되어 있어 사용자가 신속하게 결함을 분류, 표시 및 저장할 수 있습니다. 또한, 기계는 백사이드 패턴-시프트 (backside pattern-shift) 결함을 감지하여 사용자가 기판 뒷면의 비순응 패턴을 식별 할 수 있습니다. 이 도구에는 2 개의 비디오 현미경 스테이션이 있으며, 주어진 패턴을 자세히 분석하기 위해 최대 8 개의 이미지를 캡처 할 수 있습니다. 자산은 또한 고급 패턴 인식 (Advanced Pattern Recognition) 을 제공하여 다른 시스템이 놓칠 미묘한 결함을 감지 할 수 있습니다. 고해상도 이미징 (High-Resolution Imaging) 을 활용하여 자동 광학 및 결함 검사 시스템의 해상도를 벗어난 미세한 세부 사항을 캡처합니다. 마지막으로, 테론 610 (Teron 610) 은 동적 결함 필터를 사용하여 사용자가 특정 유형의 결함에 대한 검사 노력에 집중할 수 있습니다. 전반적으로 이러한 기능의 조합으로 인해 KLA/TENCOR Teron 610은 강력하고 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 모델이되었습니다. 고해상도 이미징 (High Resolution Imaging) 및 자동 검사 (Automated Inspection) 기능을 통해 40nm 미만의 결함을 감지할 수 있으며, 고급 패턴 인식 및 결함 필터 기능을 통해 가장 까다로운 포토마스크 및 웨이퍼의 정확성을 보장하는 이상적인 장비입니다.