판매용 중고 KLA / TENCOR Terascan SL516-T5 #9276280

KLA/TENCOR Terascan SL516-T5는 매우 정확하고 안정적인 검사 결과를 제공하는 차세대 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. wafer 및 mask lithography 프로세스의 무결성을 평가하는 데 사용할 수 있습니다. 이 시스템에는 0.17 미크론 해상도와 0.80 (NA) 의 낮은 수치 조리개 (NA) 값을 제공하는 빠르고 정밀한 정렬을 제공하도록 설계된 렌즈가 장착되어 있습니다. 자동 정렬 장치 (automated alignment mechanism) 는 렌즈와 스테이지가 완벽하게 정렬되고 웨이퍼 또는 마스크에 대한 매우 정확한 개요를 제공합니다. 더 높은 정확도를 필요로 하는 사용자는 최고 1.2 의 높은 NA (옵션) 를 사용할 수 있습니다. KLA Terascan SL516-T5는 최신 도량형 기술을 통합하여 빠른 검사 속도를 제공합니다. 스캔 속도가 이전 시스템보다 최대 60배 빨라서 전체 처리량이 훨씬 빨라집니다. 이 장치에는 수동, 반자동 또는 완전 자동 검사 기능이 제공됩니다. 자동 (Automated) 기술을 통해 한 번에 최대 2개의 웨이퍼를 자동으로 스캐닝할 수 있도록 보정 및 설정을 쉽게 수행할 수 있습니다. 수동 검사 (Manual Inspection) 를 통해 사용자는 세부적이고 고도로 구체적인 검사를 수행할 수 있으며, 이는 드문 결함을 찾는 데 특히 유용합니다. 전반적으로 TENCOR Terascan SL516-T5는 포괄적이고 비용 효율적인 웨이퍼 및 마스크 검사 머신을 제공하며, 이는 다양한 리소그래피 프로세스에 적합합니다. 빠르고 정밀한 정렬 메커니즘과 자동 (automated) 기능을 통해 빠르고 정확하게 검사할 수 있으므로, 빠르고 신뢰할 수 있는 검사 도구 (inspection tool) 를 원하는 모든 수준의 사용자에게 적합합니다.